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流量檢測在工業生產和日常生活中應用廣泛.

寶德Burkert微流量傳感器主要用于測量流體的流速。流量、流向等性質.根據其測量原理的不同，可分為熱式流盆傳

感器和非熱式流量傳感器兩大類.寶德Burkert熱式流量傳感器主要依靠傳感器與流體間的熱相互作用來進行側

量.該類burkert傳感器由于易采用半導體工藝制造，具有體積小、成本低、可以批zui生產，同時能與處理電路集

成在同一芯片上，使寶德Burkert傳感器的愉出直接實現數字化，易于與計算機接口等優點.但寶德Burkert熱流量傳感器也存在一定的不足，如反應時間較長、功耗大、襯底的熱傳導導致測量誤差、零點隨環境溫度的漂移等問題;對

流體加熱，也限制了熱式微流量寶德Burkert傳感器在生物技術方面的應用

寶德Burkert葉輪式流量傳感器結構及工作原理

寶德Burkert葉輪式流量傳感器的結構及工作原理：

寶德Burkert葉輪式流量傳感器屬于非熱式傳感器，它是通過檢測流體使葉片轉動的轉速來反應流體的流量.

該結構的中間陰影部分是轉動軸，硅葉片作為電容的一個極板，由制作在玻璃板上的金屬

薄膜(黑色區域)構成電容的另一極板.當有流體流過時，硅葉片以硅柱為軸開始轉動，轉動的速度與流量的大小有關.由于電容的兩個極板相對的面積隨葉片的轉動在周期性的改變，由此產生的電容也將

作周期性的變化，且電容變化的頻率與轉速有關.當通過電容檢測電路測出電容變化的頻率，則可以通

過一定的對應關系將轉速轉換成電信號翰出，從而反應出流量的大小.采用電容檢側的優點主要是容

易與Burkert寶德傳感器制備工藝相結合，減少了工藝難度，同時由于檢測的是數字信號，避免了失調、溫漂等線性電路難以解決的問題.