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潔凈室多級碰撞采樣器該多級碰撞采樣器將懸浮顆粒按照粒徑大小分級采集到硅片，鋁膜及其它平面介質上進行掃描電鏡或其它技術分析潔凈室污染。
多級生物氣溶膠采樣器6級生物氣溶膠采樣器包括：6個帶孔的鋁制層、硅樹酯O型墊圈、真空泵、攜帶工具箱，該采樣器每一級的工作流量都是28.3 L/min。
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