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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 電子/電池,綜合 |
pfeiffer（普發）分子泵
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 產品優點：
1、 四種抽速，抽速為自1,000 至 2,000 l/s
2、 對于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速
3、 適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 要求，耐粉塵
4、 高氣流量，即使對于分子量較大的氣體
5、 集成的 TC 1200 驅動單元，可直接連接一般電源
6、 支援腐蝕氣體
7、 帶節氣閥門的集成密封氣體系統
8、 標準接口界面：RS-485 以及遠程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供選擇
9、 符合 IP 54 防護標準，適用于工業應用環境
10、符合 Semi S2 規范
11、符合 UL, CSA 以及 TüV 認證
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 適用領域：
1. 玻璃及刀具鍍膜 2. 真空爐 3. 質譜分析 4. 研發及化工行業 5.半導體生產
產品規格：
型號 | 連接尺寸 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | Z高啟動壓強mbar | 冷卻方式 | 啟動時間 | 重量 | |||
進氣口 | 出氣口 | 氮氣N2 | 氦氣He | 氫氣H2 | 氮氣N2 | 氮氣N2 | min | kg | ||
HiPaceTM 1200 | 200 | 40 | 1,250 | 1,300 | 1,100 | >108 | 2 | 水冷 | 2.5 | 40 |
HiPaceTM 1500 | 250 | 40 | 1,450 | 1,350 | 1,150 | >108 | 2 | 水冷 | 2.5 | 41 |
HiPaceTM 1800 | 200 | 40 | 1,450 | 1,650 | 1,700 | >108 | 1.8 | 水冷 | 4 | 34 |
pfeiffer（普發）分子泵
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