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晶圓電阻率測試儀采用非接觸方式測量晶圓電阻率,測量P/N類型和晶圓厚度,適合硅材料和其它材料的Sheet Resistance測量。
晶圓電阻率測試儀應用
晶圓制造，晶圓品控，晶圓檢測等。
晶圓電阻率測試儀規格參數
晶圓電阻率測試儀-低電阻測量
| Gauge Types | Wafer Diameter | Resistivity Range | Thickness Range |
| MX 601 | up to 6" | 5E4 to 5E9 Ohm*cm | 350 - 650µm |
| MX 6010 | 2", 3", 4" | 2E5 to 2E9 Ohm*cm | 300 - 600µm |
晶圓電阻率測試儀采用非接觸方式測量晶圓電阻率,測量P/N類型和晶圓厚度,適合硅材料和其它材料的Sheet Resistance測量。
晶圓電阻率測試儀應用
晶圓制造，晶圓品控，晶圓檢測等。
晶圓電阻率測試儀采用非接觸方式測量晶圓電阻率,測量P/N類型和晶圓厚度,適合硅材料和其它材料的Sheet Resistance測量。
晶圓電阻率測試儀應用
晶圓制造，晶圓品控，晶圓檢測等。
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