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單點少子壽命測量儀,晶圓壽命測量儀器
  • 單點少子壽命測量儀,晶圓壽命測量儀器
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貨物所在地:上海上海市

地: www.felles.cn/s

更新時間:2024-09-11 11:23:18

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單點少子壽命測量儀系統是經濟型晶圓壽命測量儀器,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。

單點少子壽命測量儀系統是經濟型晶圓壽命測量儀器,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。單點少子壽命測量儀可測量小于156mm厚度的晶錠,沒有自動化配置,手工操作。可增配電阻率測試功能,適合硅,晶圓片和晶錠壽命測量。

單點少子壽命測量儀特點
無接觸和非破壞的電學參數測試
對外延工藝監控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的最高分辨率
對于不同級別晶圓片,提供不同的菜單選項
單點少子壽命測量儀優勢
用于不同制備階段,從成體到最終器件,多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。
體積小,成本低,使用方便。擁有一個基本的軟件,結果可視化。
適用于晶圓片到晶錠,易于高度調整。
單點少子壽命測量儀
單點少子壽命測量儀技術參數


樣品不同工藝處理樣品,如鈍化或擴散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等
樣品尺寸50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2
電阻率0.2 - 103 Ohm cm
材質硅晶圓,晶錠,部分或全部加工晶圓,化合物半導體和其它類型
少子壽命檢測范圍20ns到幾十ms
尺寸360 x 360 x 520 mm,質量:16 kg
電源110/220 V, 50/60 Hz, 3 A






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