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FPFRE-mdppro-晶圓晶錠壽命測定儀
  • FPFRE-mdppro-晶圓晶錠壽命測定儀
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貨物所在地:上海上海市

地: www.felles.cn/s

更新時間:2024-09-11 11:18:11

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晶圓晶錠壽命測定儀是為晶圓晶錠測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查任務設計的晶圓晶錠少子壽命測試儀器。采用非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))設計。
晶圓晶錠壽命測定儀是為晶圓晶錠測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查任務設計的晶圓晶錠少子壽命測試儀器。采用非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))設計。
晶圓晶錠壽命測定儀應用
單晶晶圓壽命,多晶晶圓壽命和晶錠壽命測量
適合硅,化合物半導體,氧化物,寬禁帶,鈣鈦礦材料
[ CdTe | InP | ZnS | SiC | GaAs | GaN | Ge ]
晶圓晶錠壽命測定儀
晶圓晶錠壽命測定儀規格參數
最佳產量:>240塊/天或>720片/天
測量速度:對于156x156x400mm標準晶錠,<4分鐘
良品率提升:1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
質量控制:用于過程和材料的質量監控,如單晶硅或多晶硅
沾污檢測:起源于坩堝和生產設備的金屬(Fe)
可靠性:模塊化和堅固耐用的工業儀器,更高可靠性,運行時間> 99%
可重復性:> 99.5%
電阻率:可做面掃描,不需經常校準
晶圓晶錠壽命測定儀



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