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這款非接觸式探針臺是為高頻電子設備、IC和材料測試/表征設計的非接觸式探針測試分析系統。實現了整個毫米波和太赫茲波段電子設備和IC的自動S參數表征。測量范圍為55GHz-1.1THz
非接觸式探針臺還是全自動的探測試驗臺,能夠對晶圓上的每個芯片進行無人值守的檢查,并具有如下功能：
毫米波和太赫茲波段的片上S參數測量
無磨損，消除了接觸式微探針的主要缺點
亞微米對準重復精度，實現可靠和可重復的測量
通過精確的晶圓校準實現多端口器件和IC特性
適用于整個毫米波太赫茲波段的通用、經濟高效的測試臺
非接觸式探針臺還可以做成材料表征系統使用高精度機械臂和新型校準，以1000分之一的精度精確測量材料面板和薄膜的介電常數和損耗角正切。
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