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這款半自動晶圓探針臺廣泛用作分析探針臺和RF探針臺,可測試100mm晶圓,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導體器件探針臺測試和晶圓探針臺測試應用。
半自動晶圓探針臺特色
電動XY樣品夾盤,步進電機高精度控制
適合低于0℃的測試應用或者屏蔽RF的應用
樣品臺，行程范圍125mm x 125mm
加載或卸載晶圓非常方便
精密電控XY位移臺和臺板
光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空定位器
高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數3.5X~180X
適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭
標準的XYZ三維位移臺顯微鏡
可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件
半自動晶圓探針臺規格參數
適合晶圓大小：100mm （125mm可選）
電動XY位移臺： 行程范圍125mm x 125mm， 分辨率1.5um
臺板行程：12.7mm 或更大，
臺板調整：帶有粗調和微調功能,重復精度+/-1.5um
臺板平面度：<+/-12.7um @150mm長度
臺板剛度：<50um @4.5kg
樣品夾盤規格
真空：多區真空
平面度：+/-13um
擊穿電壓：500V
隔離度：1G歐姆
調整：360度粗調， +/-6度微調
顯微鏡：高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數范圍3.5X~180X
電學接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭
安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺）
整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
凈重：85kg ~95kg (根據所選不同配件）
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