目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導體微電子設備>>勻膠儀>> FPSPS-SPIN200i進口甩膠機
進口甩膠機SPIN200i是200mm單片甩膠機SPIN COATER,專為MEMS、半導體、光伏、微流體等領域的研發和小批量生產而設計，適用于所有典型的旋涂工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
進口甩膠機SPIN200i適用于處理小至5mm、高達200?（或8"）或6“x 6"基板的晶圓。可拆卸觸摸面板。
進口甩膠機SPIN200i特點
工藝種類齊全，包括旋涂和浸置式顯影
結構緊湊，方便實驗室防置
大屏幕彩色觸摸屏
專為各種光刻化學光刻膠設計
進口小型旋涂機SPIN150i規格參數
程序數：無限制
程序的步進數：無限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋轉方向：順時針，逆時針，puddle浸置式
最大加速度：30000rpm/s
旋涂時間：無限制
外殼材質：NPP
旋涂室材質：NPP
外部鏈接：1個USB接口連接控制器
最大襯底直徑：260mm圓形或6''x6''方形
最大旋涂室直徑：302mm
尺寸:380 (w) x 307 (h) x 599 (d) mm
重量：20kg
供電要求：200-240VAC
最大功耗：500W
真空：- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD ?8mm
9
化工儀器網