3D多光子聚合光刻機是采用飛秒激光多光子聚合MPP技術設計的3D多光子聚合打印機,為用戶提供高分辨率3D光刻膠打印方案。
3D多光子聚合光刻機優勢
直寫分辨率：200nm ~10um
尺寸結構小，適合實驗室桌面光刻打印
對光刻膠不挑剔，適合所有商用光刻膠
透明3D結構打印
操作界面友好，易于使用
工作和維護成本低

3D多光子聚合光刻機參數
激光光源參數
激光波長：785nm+/-5nm
平均功率：>120mW
激光脈寬：<100fs
光束質量：TEM00，M2<1.2
納米位移定位臺參數
XYZ行程：60x60x5mm
XYZ精度：+/-300nm
XY分辨率：5nm
XY速度：100mm/s（大）
聚焦光學部分參數
放大倍數：50X~100X
數值孔徑：0.5~1.4
物鏡：高性能浸油物鏡
軟件部分參數
自動或手動對納米位移定位臺控制
控制激光發射
控制激光功率
控制激光脈沖重復頻率
激光功率衰減控制
數字或模擬I/O控制
文件格式：DXF，STL,TXT,XML
2D/3D光刻預覽窗口方便用戶閱覽
樣品定位檢測
樣品傾斜或旋轉補償技術

3D多光子聚合光刻機光刻結果展示