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當前位置：岱美儀器技術服務（上海）有限公司>>3D形貌儀/白光干涉輪廓儀>>彩色共聚焦輪廓儀>> QuickPRO-3D--表面輪廓儀
•適用于光學、工業和半導體市場的高速、中精度、經濟實惠的表面輪廓儀
•納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點和線傳感器）
•為在線過程測量和控制而設計
•結構緊湊，易于上下片和操作
•可配制成獨立系統（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z）
•多種樣品處理能力
–單一數控加工的非球面透鏡（ ?可達100mm）
–托盤中的小型模塑透鏡
–自由曲面光學器件（無旋轉對稱） 半導體，MEMs，LED，OLED，光子晶圓
特點：
•可在納米分辨率下測量大的臺階高度（>1mm）
•適用于較大和較重的零件、不規則幾何形狀
