臺式掃描電鏡是一種體積小巧，可安放在實驗臺面上操作的電子顯微鏡。其原理和傳統掃描電子顯微鏡相同。部件包括:電子發射、電磁透鏡、信號探測、真空系統、計算機控制系統。
臺式掃描電子顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡相比，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空等優勢，臺式掃描電子顯微鏡分辨力能滿足多數材料的顯微觀察。
臺式掃描電鏡填補光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的分辨率空白區域，可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫學、食品藥品、紡織纖維、地質科學等諸多領域。
隨著科學研究與工業生產進入了納米領域，人們對顯微技術、顯微儀器的要求越來越高，需求也日益增長。
光學顯微鏡價格便宜，操作簡單，但由于可見光波長的限制，其放大倍數只能達到1000倍左右;傳統大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數可以達到數萬倍，具有大景深，是當前材料科學、生物科學領域常用的表征手段之一，但其投資巨大，而且需要經過嚴格培訓的操作人員，使用不便。
臺式掃描電鏡結合光學顯微鏡與傳統掃描電鏡的優點。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數和大景深，同時體積小、操作簡便，價格僅為傳統電鏡的幾分之一，逼近光學顯微鏡。臺式掃描電子顯微鏡操作方便、維護簡單等特點被認可。
下面讓我們來了解一下臺式掃描電鏡的結構組成吧
真空系統:二級真空系統，一般采用機械泵加渦輪分子泵組成，電子槍部位真空度10-4Pa，樣品倉真空度可達數十帕
電子槍:電子槍的作用是發射出作為電鏡照明用的電子源。種類有:鎢陰極電子槍、氧化物陰極、硼化物陰極(六硼化鑭應用多)、場發射陰極
電磁透鏡:電場和磁場都可以使電子束發生偏轉，從而使電子束產生匯聚和發散
探測器:背散射電子探測器或二次電子探測器
