詢價8英寸晶圓倒片機
詢價時間：2025/7/22 16:38:17
報價截止：2025/7/31 23:59:59
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詢價產品（產品性質：加工/訂制品）
| 產品名稱 | 采購量 | 品牌 | 型號 | 產品描述 | 產品文件 | 圖片 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 8英寸晶圓倒片機 | 1臺 | 該晶圓倒片機為臥式退火設備配套使用，實現規?；a的自動化要求，旨在實現8寸晶圓（包括Taiko晶圓）在晶圓舟和Cassette之間的搬運的過程。 |
對供應商要求
- 收貨地：
- 江蘇 >無錫市 >錫山區
- 發票要求：
- 增值稅專用發票（備注：專票資質可以報普票要求）
- 報價要求：
- 需要報含稅價
- 采購類型：
- 單次采購
補充說明
該晶圓倒片機為臥式退火設備配套使用，實現規?；a的自動化要求，旨在實現8寸晶圓（包括Taiko晶圓）在晶圓舟和Cassette之間的搬運的過程。作為退火爐配套使用設備，乙方需提供滿足甲方退火爐要求的晶圓舟三維模型、圖紙及加工要求，并能根據甲方提供的Cassette型號進行作業。
晶圓傳輸：實現晶圓舟和Cassette之間的8寸晶圓批量化傳輸，一次取放25片晶圓。
系統配置及要求：
（1） 根據自動化要求和設備的工藝要求，該系統應具備以下詳細配置功能：
（2） 晶圓規格：standard及taiko晶圓；
（3） 標準晶圓厚度200 μm至800 μm（極端情況至1000 μm），taiko晶圓中心減薄至50 μm；
（4） 傳片效率：裝滿晶圓舟所有槽位（不含cassette上料）耗時<3 分鐘（不包括人為操作時間）
（5） 可通過便捷操作切換傳輸方向，實現晶圓舟和Cassette之間互相搬運。
（6） 平均故障間隔時間：≥2,000小時；
（7） 平均故障修復時間<2 小時；
傳輸流程：
1) Cassette被上料到Cassette定位模塊；
2) 利用托舉裝置，取出Cassette中的晶圓；
3) 抓取模塊取出托舉裝置的晶圓，并移動至晶圓舟上方；
4) 晶圓舟下方的托舉裝置啟動，從抓取模塊中取下晶圓舟；
5) 晶圓舟下方的托舉裝置下降，將晶圓放置于晶圓舟內。
（8） 晶圓倒片機傳輸破片率<1/10,000
