YQL 高真空CVD管式爐
- 公司名稱 上海勇傾實驗儀器有限公司
- 品牌
- 型號 YQL
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數 833
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| 產品型號： | YQL1200高真空CVD管式爐 | ||||||
| 產品簡介： | 該系統由開啟式真空管式爐、多路氣體混合系統、高真空系統（機械泵+分子泵）組成。主要用于產品的氣氛燒結、真空燒結、鍍膜、化學氣相沉級（CVD）工藝等。 | ||||||
| 主要特點： | 設備采用廈門宇電儀表，可全程電腦控制和設置參數、并能繪制曲線保存數據，具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高（采用6組PID控制，低、中、高溫都能控制在+/-1℃）、采用進口Canthal電阻絲，溫差均衡，使用壽命長，保溫效果好、溫度范圍大、可通氣氛抽真空，采用620分子泵，抽氣速率大，20分鐘內能夠抽到10-4Pa等特點。 | ||||||
| 高溫爐參數： | 爐管尺寸：Φ60×1000mm；Φ80×1000mm； | ||||||
| 氣路系統參數： | 工作電壓：185-245V/50HZ
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| 真空系統參數： | 1機械泵:抽氣速率：6 L/S | ||||||
| 產品證書： | CE認證 |
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FJ-620分子泵機組
FJ-620/FJ-500F型系列復合分子泵機組是由F160/620系列各性能復合分子泵或FF-160/500F系列復合分子泵，前級抽氣泵，隔斷放氣閥，前級管路，斷水保護器，分子泵電源，控制電源等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設備。安裝方便，操作簡單，易于聯接，性能可靠，可廣泛用于表面分析，加速器技術，半導體設備，等離子體技術，電真空器件的制造及真空技術各領域。
FJ-620分子泵機組技術性能：
| 產品型號 | FJ-620 | ||
| 進氣口法蘭 | DN160LF | DN160CF | |
| 抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||
| 壓縮比 N2 H2 | ＞109 6×103 | ||
| 建議啟動壓強 | ＜100 Pa | ||
| 極限壓強（Pa） | 6×10-6 | 6×10-7 | |
| 排氣口法蘭 | YQ25/YQ40 | ||
| 使用軸承 | 精密機械軸承 | ||
| 輸入電壓頻率（V/Hz） | 380±20/50 | ||
| 環境溫度（℃） | 0～40 | ||
| 前級泵型號 | RVP-6 | ||
| 額定工作轉數（rpm） | 42，300 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 冷卻水壓力（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷卻水溫度（℃） | <25 | ||
| 安裝方式 | 任意 | ||
| 重量（公斤） | 52 | ||
| 長×寬×高 | 730×520×700 | ||
| 重量 | 117 | ||
分子泵機組配件:
| FJ620分子泵機組 | 臺 | 1 |
| CF150/CF35/YQ40過渡腔 | 件 | 1 |
| YQ40高真空手動擋板閥 | 臺 | 1 |
| YQ40-1000波紋管 | 根 | 1 |
| ZDF-11A1復合真空計 | 臺 | 1 |
| KT40/16變徑三通 | 件 | 1 |
| YQ40卡箍 | 套 | 3 |
| YQ16卡箍 | 套 | 1 |
| CF35無氧銅墊圈 | 個 | 1 |
YF-3三路供氣（混氣）系統
一、概述
1．氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統的入口，再經過浮子流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數盤與浮子流量計安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5． 所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
二、技術參數：
氣路通道： 3
氣路流量控制：采用浮子流量計。
接 口： Φ6
顯 示： 刻度
工作環境溫度: 5~45℃
流量控制器： 浮子流量計 （可以根據客戶的要求定，也可以采用質子流量控制器，質子流量控制器的參數請查看D007-7B）
10-10 ml/ min 2ml/ 格
10-100ml/min 2ml/ 格
10-100 ml/ min 2ml/ 格
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