整機尺寸

340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室

現場條件：

電氣要求

240VAC - 13A, 頻率50Hz，額定功率250VA,真空泵的額定輸出是230V 、10A

濺射氣體

氬氣（零級），配有二級壓力調節器，工作氣體壓力在5-10psi

真空泵

真空壓力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二級旋轉真空泵

碳蒸發附件（可選）

EMS 7620-CF 碳蒸發附件與EMS7620可以配套使用

產品貨號

產品名稱

產品規格

EMS 7620

EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620

“Mini” Sputter Coater

包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target,

1m length of 12mm bore flexible vacuum hose,

1 x KF25 hose adapter flange and fittings to

fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug,

comprehensive operating instructions

each

91017-Au

金靶Gold （Au） target

each

91017-AP

金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target

each

91017-Pt

鉑靶Platinum （Pt） target

each

91017-Ag

銀靶Silver （Ag） target

each

91017-Pd

鈀靶Palladium （Pd） target

each

91017-.2-Au

金靶Gold target （Au） 0.2mm thick

each

91017-.2-AP

金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick

each

91017-.2-Pt

鉑靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick

each

91003

愛德華旋轉真空泵RV-3 two-stage rotary pump with

oil mist filter （115/230V 50/60Hz）

each

96000

Replacement oil mist filter

each

91040

碳蒸發附件（鍍碳時選用）Carbon evaporation

attachment — EMS 7620

each