L45 擴散爐
參考價 | ¥ 13 |
訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 青島森岡自動化有限公司
- 品牌
- 型號 L45
- 產地 青島市城陽區
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/11/18 5:25:17
- 訪問次數 375
產品標簽
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擴散爐是半導體器件及規模集成電路制造過程中用于對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的一種熱加工設備。按控制方式分為微控和程控兩種。其組成有:加熱爐體(擴散爐主機)、凈化工作臺、送片系統(推拉舟系統)、氣源系統、控制系統等。
微機主要技術指標
◆可配工藝管外徑:2~8英寸
◆可配工藝管數量:1~4管/臺
◆工作溫度范圍:400~1300°C
◆恒溫區長度及精度:300~1000mm 600~1300°C±0.5°C
◆單點溫度穩定性:600~1300°C±0.5°C/24h
◆zui大可控升溫速度:15°C/min
◆zui大降溫速度:5°C/min
★我們可為用戶量身定制非標準產品。
微機主要技術指標
◆可配工藝管外徑:2~8英寸
◆可配工藝管數量:1~4管/臺
◆工作溫度范圍:400~1300°C
◆恒溫區長度及精度:300~1000mm 600~1300°C±0.5°C
◆單點溫度穩定性:600~1300°C±0.5°C/24h
◆zui大可控升溫速度:15°C/min
◆zui大降溫速度:5°C/min
★我們可為用戶量身定制非標準產品。
該系統主要功能如下:
◆全中文操作界面,可編輯參數,操作簡便。
◆可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步。
◆工藝曲線的自動運行控制功能。
◆自動運行中可暫停/繼續運行功能。
◆工藝中可強制跳到下一工藝歩運行功能。
◆只能升降溫斜率控制功能。
◆PID參數自整定功能。
◆可存儲多組PID參數供系統運行調用功能。
◆系統故障的檢測與報警功能。
◆系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)。
◆智能懸臂推拉舟控制功能。
◆工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質量流量控制器)。
◆停電后斷點繼續運行功能等等
◆全中文操作界面,可編輯參數,操作簡便。
◆可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步。
◆工藝曲線的自動運行控制功能。
◆自動運行中可暫停/繼續運行功能。
◆工藝中可強制跳到下一工藝歩運行功能。
◆只能升降溫斜率控制功能。
◆PID參數自整定功能。
◆可存儲多組PID參數供系統運行調用功能。
◆系統故障的檢測與報警功能。
◆系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)。
◆智能懸臂推拉舟控制功能。
◆工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質量流量控制器)。
◆停電后斷點繼續運行功能等等