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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>加熱設備>電阻爐>L45 擴散爐

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L45 擴散爐

參考價 13
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 青島森岡自動化有限公司
  • 品牌
  • 型號 L45
  • 產地 青島市城陽區
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2017/11/18 5:25:17
  • 訪問次數 375

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


本公司坐落在青島市李滄區交通便利,環境優美。現有廠房面積3200平方米,固定資產1800萬元,共有員工70余人,工程技術人員30余人。是一批具有豐富技術經驗和敬業精神的優秀群體所組成的。是我國生產微電子*設備定點廠家之一,中國半導體設備協會理事單位。在國內外享有盛譽,為我國863計劃做出重大貢獻。

是一家集控制技術、真空技術、熱工技術為一體的*公司。目前的主要產品有:程控擴散系統及高、低高溫擴散爐系列、微機擴散爐系列、手動/自動清洗機系列、低壓化學氣相沉積設備,真空燒結爐系列、氫氣爐系列、高精度智能溫度控制儀系列和替代進口的擴散爐爐體及采用*制造的流流量計, 同時承接各種微電子生產線制造和進口半導體*設備的改造。

以科技*、質量為本、服務周到的公司精神與新老客戶真誠合作.公司以優質的產品、優良的服務、優惠的價格回報客戶,為我國電子工業的發展作出更大的貢獻。

我們已經取得了一些小小的成就。我們將以感恩的心更加努力工作,我們有能力為您提供更加優質的產品,更好的服務以回報朋友們的信任!

渦街流量計,擴散爐,鏈式燒結爐,真空燒結爐

 

擴散爐是半導體器件及規模集成電路制造過程中用于對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的一種熱加工設備。按控制方式分為微控和程控兩種。其組成有:加熱爐體(擴散爐主機)、凈化工作臺、送片系統(推拉舟系統)、氣源系統、控制系統等。

微機主要技術指標

可配工藝管外徑:28英寸
可配工藝管數量:14/
工作溫度范圍:4001300°C
恒溫區長度及精度:3001000mm 6001300°C±0.5°C
單點溫度穩定性:6001300°C±0.5°C/24h
zui大可控升溫速度:15°C/min
zui大降溫速度:5°C/min
我們可為用戶量身定制非標準產品。
該系統主要功能如下

全中文操作界面,可編輯參數,操作簡便。
可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步。
工藝曲線的自動運行控制功能。
自動運行中可暫停/繼續運行功能。
工藝中可強制跳到下一工藝歩運行功能。
只能升降溫斜率控制功能。
PID參數自整定功能。
可存儲多組PID參數供系統運行調用功能。
系統故障的檢測與報警功能。
系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)。
智能懸臂推拉舟控制功能。
工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質量流量控制器)。
停電后斷點繼續運行功能等等

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