產品概述

Sensofar白光干涉儀采用先進的光學干涉技術，為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案，廣泛應用于半導體、精密制造和材料科學研究領域。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案

性能特點

• 非接觸式測量：避免樣品損傷

• 多模式檢測：支持白光干涉、共聚焦和相移干涉模式

• 大范圍測量：Z軸測量范圍可達數毫米

• 快速掃描：單次測量時間可控制在秒級

用材與工藝

• 光學系統：高精度物鏡組，可選2.5X-100X多種倍率

• 機械結構：大理石基座配合精密導軌，確保穩定性

• 探測系統：高靈敏度CCD傳感器

參數表

典型用途

• 半導體晶圓表面缺陷檢測

• MEMS器件三維形貌分析

• 光學元件表面質量評估

• 金屬材料粗糙度測量

使用說明

1. 樣品準備：確保待測表面清潔無污染

2. 參數設置：根據樣品特性選擇合適的光學模式和放大倍率

3. 自動對焦：使用軟件自動對焦功能獲取清晰圖像

4. 數據分析：通過配套軟件進行三維重建和參數計算

維護建議

• 定期清潔光學元件

• 保持工作環境溫濕度穩定

• 避免震動和強磁場干擾

結語：
Sensofar白光干涉儀以可靠的測量性能和靈活的應用配置，為工業檢測和科研工作提供有力支持。如需了解更多技術細節或測試服務，歡迎聯系當地技術支持團隊。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案