產品概述

Sensofar S neox 是一款多功能光學輪廓測量系統，適用于微納米尺度表面形貌分析需求。該系統采用模塊化設計理念，可滿足半導體、精密光學和材料科學等領域的表面測量要求。Sensofar S neox 光學輪廓測量系統

核心技術特點

多模式測量技術

• 集成共聚焦顯微鏡、干涉儀和白光垂直掃描三種測量技術

• 智能模式自動識別功能

• 垂直分辨率可達亞納米級

• 水平分辨率最高0.5微米

光學系統配置

• 高數值孔徑物鏡組

• 自動對焦與樣品導航系統

• 多視野無縫拼接功能

• 可選配不同放大倍率物鏡

智能分析平臺

• 自動表面參數計算

• 三維形貌可視化分析

• 多區域對比測量功能

• 自定義分析模板設置

典型應用領域

1. 半導體器件表面缺陷檢測

2. 光學元件面形精度測量

3. MEMS器件三維形貌表征

4. 功能性涂層表面分析

5. 材料科學研究與質量檢測

操作建議

• 建議在穩定環境條件下使用

• 測量前進行系統校準

• 根據樣品特性選擇測量模式

• 特殊樣品可能需要參數優化

技術支持

Sensofar提供以下專業服務：

• 系統安裝與操作培訓

• 測量方法開發指導

• 定期維護校準支持

• 軟件功能升級服務

產品特點

Sensofar S neox 通過其多技術融合的測量能力和智能化分析功能，為表面形貌表征提供了靈活的解決方案，適用于需要高精度表面分析的研發和質量控制場景。Sensofar S neox 光學輪廓測量系統