Keithley 4200A-SCS半導體測試儀系統

本公司7月15日13點49分報道：Keithley 4200A-SCS半導體測試儀系統可定制的全功能集成參數分析儀@技術新聞

產品描述

4200A-SCS是一款可定制的全功能集成參數分析儀，提供對電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）和超快速脈沖I-V特性的同步洞察。作為性能高的參數分析儀，4200A-SCS加速半導體、材料和工藝開發。4200A-SCS Clarius基于GUI的軟件提供清晰、無折扣的測量和分析能力。配備嵌入式測量專業知識和數百個現成的應用測試，Clarius軟件使您能夠以速度和信心深入研究。4200A-SCS參數分析儀可定制且可升級，因此您可以在此刻或之后添加所需的儀器。使用4200A-SCS半導體測試儀系統 加快半導體設備、材料和工藝開發的探索、可靠性和故障分析研究。 業內先性能參數分析儀，提供同步電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 測量。

關鍵性能規格

I-V 源測量單元 (SMUs)

→±210 V/100 mA 或 ±210 V/1 A 模塊

→100 fA 測量分辨率

→選配前置放大器可實現10 aA 測量分辨率

→10 mHz – 10 Hz 超低頻電容測量

→100 μF 負載電容

→四象限操作

→2 或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元 (CVUs)

→交流阻抗測量(C-V, C-f, C-t)

→1 kHz – 10 MHz 頻率范圍

→±30 V（60 V 差分）內置直流偏置，可擴展至 ±210 V（420 V 差分）

→可選的CVIV 多開關便捷地在 I-V 和 C-V 測量之間切換

脈沖I-V 超快速脈沖測量單元 (PMU)

→兩個獨立或同步通道的高速脈沖I-V 源和測量

→200 MS/s，5 ns 采樣率

→±40 V (80 Vp-p)，±800 mA

→瞬態波形捕獲模式

→10 ns 可編程分辨率的多級脈沖波形任意波形發生器

高壓脈沖發生器單元 (PGU)

→兩個通道的高速脈沖V 源

→±40 V (80 Vp-p)，±800 mA

→10 ns 可編程分辨率的多級脈沖波形任意波形發生器

I-V/C-V 多開關模塊 (CVIV)

→在不重新接線或抬起探針針頭的情況下輕松切換I-V 和 C-V 測量

→可將C-V 測量移至任何終端，無需重新接線或抬起探針針頭

→±210 V 直流偏置能力

遠程前置放大器/開關模塊 (RPM)

→自動在I-V、C-V 和超快速脈沖 I-V 測量之間切換

→將4225-PMU 的電流靈敏度擴展到數十皮安

→減少電纜電容效應

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