| 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT 54系列氣動高真空擋板閥
一、54系列產品定位
產品類型：氣動驅動高真空擋板閥（Pneumatic Gate Valve）
核心功能：
快速隔離真空腔體（開/關時間<1秒）
適用于半導體、光伏、科研設備的超高真空（UHV）系統
核心優勢：
漏率低至<1×10?? mbar·L/s（金屬密封版可達10?11 mbar·L/s）
零泄漏設計，兼容腐蝕性氣體（如CVD工藝中的Cl?、SF?）
二、型號命名規則（以VAT 54152-AA為例）
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| 54 | 系列名稱（氣動擋板閥） |
| 1 | 閥體尺寸（1=DN40，5=DN200） |
| 52 | 法蘭類型（52=ISO-K，62=CF） |
| AA | 密封材質（AA=氟橡膠，MM=金屬） |
三、中國市場常用子型號對比
| 型號 | 通徑 | 法蘭類型 | 密封材質 | 溫度范圍 | 典型應用場景 |
|---|---|---|---|---|---|
| VAT 54112-AA | DN40 | ISO-K | 氟橡膠 | -20~+150°C | 小型真空傳輸腔 |
| VAT 54152-MM | DN63 | ISO-K | 金屬密封 | -200~+250°C | 半導體刻蝕機 |
| VAT 54562-AA | DN200 | CF | 氟橡膠 | -20~+150°C | 光伏鍍膜設備 |
| VAT 54652-MM | DN160 | ISO-K | 金屬密封 | -200~+250°C | 離子注入機 |
四、核心技術參數
真空性能：
漏率：氟橡膠版<1×10?? mbar·L/s，金屬密封版<1×10?11 mbar·L/s
耐壓差：標準版10?? mbar至大氣壓（雙向耐壓可選）
機械特性：
驅動方式：雙作用氣動（需0.5~0.7MPa壓縮空氣）
啟閉時間：DN63以下≤0.5秒，DN200≤1.5秒
循環壽命：>500,000次（金屬密封版）
材料兼容性：
氟橡膠（AA）：成本低，不耐等離子體
金屬密封（MM）：耐腐蝕、耐高溫，價格高30%~50%
閥體材質：316L不銹鋼（可選電解拋光EP級）
密封選項：
五、選型關鍵步驟
確定通徑：根據管道流量選擇DN40/DN63/DN160/DN200
選擇密封：
常規工藝：氟橡膠（AA）
刻蝕/離子注入：金屬密封（MM）
匹配法蘭：
ISO-K法蘭：大流量（如鍍膜設備）
CF法蘭：超高真空（如半導體腔體）
特殊需求：
腐蝕性氣體：選配鍍鎳閥體或哈氏合金密封
高溫環境：金屬密封+高溫電磁閥（如Festo MS6系列）
六、安裝與維護要點
安裝規范：
閥體需水平或垂直安裝（避免傾斜）
法蘭螺栓需按對角線順序擰緊（扭矩參考VAT手冊）
維護建議：
每6個月檢查密封面磨損（金屬密封版可定期研磨）
氟橡膠密封圈在暴露大氣后需靜置12小時再抽真空
七、典型故障處理
| 故障現象 | 可能原因 | 解決方案 |
|---|---|---|
| 閥門無法關閉 | 密封面污染/氣缸壓力不足 | 清潔密封面，檢查氣路≥0.5MPa |
| 真空抽速慢 | 閥板未打開 | 調節氣缸行程或更換電磁閥 |
| 漏率超標 | 密封圈老化/法蘭損傷 | 更換密封件，氦質譜檢漏 |
八、中國市場的替代方案
國產替代：
沈陽科儀 GDC系列擋板閥（DN40~DN250，漏率<5×10?? mbar·L/s）
日系品牌：
SMC VZH系列（中低真空，性價比高）
交貨周期：
標準型號：4-6周
定制版本（如鍍鎳閥體）：8-12周
瑞士VAT 54系列氣動高真空擋板閥
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