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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>Labcoater Series 100 Parylene派瑞林鍍膜設備

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Labcoater Series 100 Parylene派瑞林鍍膜設備

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 Labcoater Series 100
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/6/30 16:34:00
  • 訪問次數 43

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那諾中國有限公司專注于為大中華區域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業研發與生產等企業機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀,包含飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)、質子轉移反應(PTR)質譜儀、電子轟擊電離(EI)質譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

Parylene派瑞林鍍膜設備Labcoater Series 100是一款具備可更換工藝腔室的高性價比系統,廣泛應用于航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。


Parylene派瑞林鍍膜設備


該型號Parylene派瑞林鍍膜設備具有以下特點:

1、結構緊湊、配有移動式支架及小型冷阱,安裝位置靈活,便于實驗室布局調整;

2、特別適用于小批量生產及科研實驗場景;

3、可更換真空腔室設計有助于提升設備清潔效率;

4、配備可拆卸透明上蓋,便于實時觀察與基材更換操作;

5、系統集成自動工藝控制功能,并支持網絡連接,便于數據管理與遠程監控。


Labcoater Series 100派瑞林真空鍍膜系統:

尺寸
L:850mm  W:900mm  H:1600mm
重量
80kg
腔體容量
30L
工藝腔體
直徑300mm(其他尺寸可定制)
冷卻系統
4L(機電式冷阱)
真空連接
DIN 25 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速10m3/h
電氣連接三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜機既有適用于科研領域的實驗型機型,也有適用于工業量產領域的工業機型。同時,我們也可以根據需求在真空腔體中集成等離子源,實現在沉積之前能夠對基材進行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統設計,在小占地面積下提供高性能技術,節約大量的超凈間占地空間。


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