WAU羅茨泵核心型號與技術(shù)參數(shù)?

WAU羅茨泵的技術(shù)優(yōu)勢?

1、高效節(jié)能?

風(fēng)冷設(shè)計無需外接冷卻水，能耗比傳統(tǒng)水冷泵低40%

變頻調(diào)速兼容性（如WAU 251提速至4200rpm），工況適配性提升50%

2、無油密封?

罐裝電機（Canned Motor）隔絕潤滑油污染，滿足半導(dǎo)體、光伏鍍膜等高純度工藝要求

氟橡膠密封件耐受含氧/腐蝕性氣體（如CVD工藝中的蝕刻氣體）

3、模塊化維護?

齒輪箱與泵腔隔離設(shè)計，潤滑油不受介質(zhì)污染，更換周期延長至4000小時

立式/臥式快速切換，節(jié)省設(shè)備布局空間

維護與故障預(yù)防?

1?、強制保養(yǎng)項?

每運行2000小時更換軸承及機械密封，使用原廠LVO 100/210潤滑油

清洗泵腔需用5%酸堿液，禁用顆粒研磨劑

2、運行禁止?

連續(xù)壓差＞100mbar會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱變形（需聯(lián)鎖壓力傳感器）

旁通閥開啟時間≤3分鐘，避免電機過載

3、升級選項?

加裝磁懸浮軸承：機械損耗降40%，免維護周期突破8000小時