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NEXUS 物理氣相沉積PVD

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 靈活的沉積平臺服務于廣泛的應用

Veeco 的單靶點 NEXUS PVDi 物理氣相沉積(PVD)系統,為各類薄膜沉積應用提供了極大的靈活性和多功能性,使其在當今快速發展的技術環境中脫穎而出。無論是在半導體、光電子材料、顯示技術還是其他高科技領域,NEXUS PVD 都能夠滿足客戶的多樣化需求。

該系統的加工精度高達 200 毫米,不僅保證了沉積過程的精確控制,還使得它能夠支持多種不同的工藝需求。NEXUS PVD 的先進工藝能力,結合=均勻性,確保了每一層沉積膜的質量和性能都達到行業水平。這種優質的性能在提高整體工藝產量方面發揮了關鍵作用,用戶能夠以更高的良率實現高效生產。

此外,NEXUS PVD 平臺彰顯了出色的吞吐量和正常運行時間,顯著降低了設備的擁有成本。這意味著客戶可以在保持高產量的同時,減少維護和運營成本,進一步提升投資回報率。

2. NEXUS 平臺還集成了 Veeco 多項技術

包括離子束沉積、離子束蝕刻和原子層沉積(ALD),使得該系統具備處理多種沉積需求的能力。離子束沉積能夠實現高質量薄膜的沉積,適合于對膜厚均勻性和膜缺陷有嚴格要求的應用;而離子束蝕刻技術則用于精細圖案的刻制,更好地滿足高精度集成電路制造的需要。原子層沉積技術則在沉積極薄膜方面表現,適用于高技術含量的光電材料、傳感器及其他前沿科技領域。

Veeco 的 NEXUS PVDi 系統通過其頂尖的靈活性、可靠性和高效性,為廣泛的薄膜沉積應用提供了解決方案,幫助客戶在競爭激烈的市場中保持地位。無論是從技術創新還是經濟效益來看,NEXUS PVDi 系統都為用戶創造了巨大的增值潛力。



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