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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>外延系統>GEN200 分子束外延MBE

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GEN200 分子束外延MBE

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。 

提供成本低的 4 x 4“ 外延片生長

與同類 MBE 系統相比,模塊化架構的占用空間要小得多

允許多兩個生長模塊,從而提高產量或允許處理不相容的材料

可選的隔板安裝優化了潔凈室空間

集成了業界具創新性、可靠的系統硬件、源和組件

Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。 




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