FJL560 高真空磁控濺射與離子束復合薄膜沉積系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 沈陽科儀
- 型號 FJL560
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/6 11:31:34
- 訪問次數 327
聯系方式：謝澤雨19842703026 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
1.產品概述：
高真空磁控濺射與離子束復合薄膜沉積系統可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等，工藝性能穩定、模塊化結構，采用行業先的軟件控制系統，用于納米單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應用于大院校、科研院所的薄膜材料的科研項目。
2.產品工藝：
真空室結構:圓筒形上升蓋
真空室尺寸:φ550x450mm
限真空度:≤6.0E-5Pa
沉積源:磁控靶3套，φ2英寸；
四工位轉靶1套；
樣品尺寸，溫度:φ2英寸，6片。高可以到達800℃
占地面積（長x寬x高）:約3米×1.1米×2米
電控描述:全自動控制
工藝:片內膜厚均勻性：≤±3%
濺射源：考夫曼離子源 Kaufman 2套，φ2英寸
采購中心
化工儀器網