博思飛爾FAC-300氣體質量控制器

一、產品簡介

博思飛爾FAC-300氣體質量控制器

二、產品原理

熱式質量流量計(MFM)的核心傳感器是毛細管熱溫差原理，是由帶有熱敏元件和加熱元件的不銹鋼毛細管組成。一部分氣體流經旁路傳感器，并由加熱元件加熱，氣體流動造成溫度分布不對稱，從而可以測得兩個熱敏元件之間的溫差，此溫差與通過傳感器的質量流量成正比。主流量通道經過層流原件的分流，使傳感器的輸出與總質量流量成線性關系。

熱式質量流量控制器(MFC)是將傳感器的輸出信號經過放大和用戶設定信號對比，通過 PID算法控制電磁閥的開度，調節流量，實現質量流量的閉環控制。

三、產品特性

FAC-300 采用毛細管熱溫差式傳感器，測量精度高，且不受溫度和壓力影響、可任意角度安裝使用。

FAC-300的傳感器和閥體采用316L不銹鋼，適應有毒和腐蝕性氣體，符合工作

壓力可達 750 Psi。

FAC-300 模擬型測量控制電路，模擬信號0~5V 或 4~20mA。

FAC-300 配備比例電磁控制閥，該閥具有非常快速和平穩控制的特性。

▲FAC-300 已通過 CE 和 Rohs 認證。

四、產品參數：

產品可任意角度安裝，出廠默認水平標定，若實際安裝位置與產品出廠時的標定位置不一致時，產品可能出現零點偏移，此時可調整零點后再工作。氣流方向產品箭頭標識，正確接入管路中。

6.2、使用注意

由于MFC的閥門為調節閥，泄漏率較高，不能當截止閥使用，用戶需另外配備截止閥。

▲使用氣體必須干燥、潔凈、無污染氣體，必要時需加裝過濾器。

如使用易液化或易結晶氣體，應在MFC出口加裝單向閥，防止回流損壞設備。

7、功能操作

7.1、外設說明

按鈕 ZERO:設備調零。

LED 燈-MODE:綠燈慢閃-控制信號正常;長亮-控制信號無效。

▲LED 燈-STATE:藍色-正常狀態;紅色-異常狀態。

7.2、設備調零

執行設備調零前須排空 MFC內部殘留氣體，確保無氣體泄漏。

充分預熱 15~30min。

長按 ZERO 按鈕約 3S，等 STATE 燈紅色高頻閃爍松開，閃爍結束調零執行完畢。