UV-300H 紫外線臭氧清洗機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 SAMCO
- 型號 UV-300H
- 產地 日本
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/5 14:14:22
- 訪問次數 487
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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
紫外線臭氧清洗機 UV-300 200 - 300 nm/min的高灰化率。
概要
UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。
主要特點和優點
大加工尺寸為?300mm（?12英寸）。
200 - 300 nm/min的高灰化率。
加熱階段加快了清洗速度，實現了寬廣的工藝溫度范圍。
通過調整平臺和石英擴散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。
緊湊，使用小的潔凈室空間
簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統。
柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。
抽屜聯鎖保證了當抽屜打開時系統無法工作。
內置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。
應用
塑料包裝和引線框架的表面清潔。
復合半導體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。
表面改性（潤濕性和附著力的改善
表面氧化(薄氧化層沉積)
光阻劑的灰化、剝離和除塵。
清除有機污染物
紫外線固化
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