美國Entegris液體流量控制器耐腐蝕高精度 Entegris 6500/6550型 特點介紹

6500型

適用于高純度應用的 PTFE 潤濕表面

耐腐蝕非金屬零件

內置壓力傳感器提供額外的過程信息

精確至滿量程的 1%，非常適合分配關鍵化學品

緊湊的設計可以在有限的空間內輕松安裝

高精度分配流量和快速響應

6550型

采用經過驗證的可靠差壓流量測量技術和先進的閉環過程控制技術

使用視覺指示器診斷預防性維護、故障排除和警報狀況

集成壓力傳感器提供詳細的壓力信息

使用氣泡生成介質實現的測量和控制

穩健的設計確保穩定性和長期可靠性

設計用于 60、90 或 120 L/min 流量

美國Entegris液體流量控制器耐腐蝕高精度 Entegris 6500/6550 規格參數

過程溫度 10-65℃ 

電源 24 伏直流 (± 10%) @ 1 安 

電力輸出 兩個電氣隔離輸出（4 至 20 mA），用于流量測量和壓力測量 

流量測量 20 至 100% 流量范圍內為滿量程的 ± 1%

流量范圍為 10 至 20% 時為滿量程 ± 2.5%

（使用 23 °C 純水校準） 

重復性 20 至 100% 流量范圍時，滿量程的 ± 0.5%

對于 10 至 20% 流量范圍，滿量程的 ± 1% 

壓力測量范圍 0至414kPa 

最小工作壓力（入口） 69kPa 

最大工作壓力 414千帕 

超壓極限 690千帕 

壓力測量精度 滿量程的 ± 1%（包括線性度、遲滯性和重復性的綜合影響） 

電氣設備外殼標準 IP54 

可靠性 接液部件，超過300萬次 

響應時間 3 秒內從 10% 升至 95% 全量程