| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池 |
|---|---|---|---|
| 行程 | 300-500mm | 定位精度 | ±4um |
| 重復(fù)定位精度 | ±1um | 均勻負載 | 30Kg |
| 直線度 | ±3um | 電機推力 | 連續(xù)140N 峰值480N |
| 速度 | 2m/s | 加速度 | 28m/s2 |
適用于激光加工、屏幕檢測、玻璃片薄片檢測、CCD成像、玻璃板切割，晶圓檢測等。
●穩(wěn)定性*的大理石臺面；
●負載能力：40Kg
●重復(fù)定位精度：0.6um
●直線度&平面度：5um；
●驅(qū)動方式：直線電機；反饋方式：光柵尺編碼反饋；導(dǎo)向：直線導(dǎo)軌或氣浮軸承；
●根據(jù)客戶要求滿足所需的運動速度，加速度，電機推力等參數(shù)；
●根據(jù)客戶要求滿足所需的直線度，平面度等參數(shù)；
●驅(qū)動方式：直線電機；反饋方式：光柵尺編碼反饋；導(dǎo)向：直線導(dǎo)軌或氣浮軸承；
●一般臺面為大理石臺面：大理石自身擁有低膨脹系數(shù)和低吸水率，可以保證穩(wěn)定的精度和低吸振性能；
●根據(jù)客戶要求定制X，Y，Z軸運動臺，可滿足高運動精度和高重復(fù)定位精度；
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