博思發科技公司的 PVC3000 系列 MEMS 熱電堆真空傳感器提供了突破性的真空測量解決方案。通過這種方案，可以測量從 1mTorr(0.13Pa)到一個標準大氣壓(760Torr，101KPa)的整個量程。

很顯然，皮拉尼真空度傳感器的測量上限僅達到 30Torr。一個壓阻式壓力傳感器無法測量低于 10Torr 的真空度。一個昂貴的電容式壓力傳感器的測量下 限也僅有0.1Torr。PVC3000 系列傳感器可以同時取代上述幾種傳感器。

此外，PVC3000 擁有超快響應時間(不超過 2mSec)和超低功耗(典型值：45mW)的特點。通過休眠的手段，功耗還可以進一步減少。比如說，把休眠觸發設置為10Hz，那么功耗可以減少到 5mW。

PVC3000 可以倍設計位差分結構，將一個傳感器暴露于真空當中(作為測量單元)，同時把另一個傳感器放置于大氣環境中(作為參考單元)。這樣的差分結構可以實現自動內部溫度補償，以及排除其他可能造

成傳感器漂移的環境因素，以此達到良好的重復性和長期穩定性。

PVC3000 采用了博思發的第二代熱傳導傳感器芯片(PTCD20)，利用氣體的熱傳導率與該氣體的真空度成正比的原理設計而成。

PVC3000 系列傳感器，現在向客戶提供兩種封裝形式。PVC3001 封裝在 TO5 的金屬殼體中，PVC3004封裝在 TO46 的金屬殼體中。

特點

•量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）

•響應時間：小于 2 毫秒

•功耗：小于 5mW（10Hz 喚醒頻率）

•利用差分結構實現自動內部溫度補償（依賴于

實際應用電路）

•可以浸泡于溶液中清洗，延長使用壽命

應用

• 密閉真空系統的泄漏檢驗

•真空包裝機

•便捷式數字真空計

工作條件

•工作溫度：-25~85℃

•存儲溫度：-40~90℃

•機械沖擊：100g 峰值（5 次跌落，3 軸）