HORIBA SEC-N112JM質(zhì)量流量控制器

適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應用。可實現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。

*1包括SEC-N177R

 SEC-N112JM產(chǎn)品特性

1.數(shù)字式/ 模擬式通信

     RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）

2.可與其它系列產(chǎn)品兼容

     復合氣體 / 復合量程

3.可以方便的在客戶端更改對應氣體和量程

    高精度控制： ±1.0% 設定流量.
    選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.

4.快速響應：   在可控流量范圍內(nèi),響應時間≦1 sec

5.內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應時間

6.氣閥種類
 電磁閥 (~50SLM)
 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)

7.密封圈材質(zhì) ：橡膠 或 金屬

8.氣路表面 ：  未經(jīng)拋光處理

9.接口 ：      僅有VCR接口

RoHS要求：   滿足RoHS要求

HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet™ (^*1), 以及PROFIBUS™(^*2) (取決于產(chǎn)品型號)。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。

^*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
^*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標志。

HORIBA SEC-N112JM質(zhì)量流量控制器