實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)施工使用*的自動(dòng)焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。

（1）易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí)，PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃。可燃**氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于**氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)施工不銹鋼制管件是用來傳輸各種制程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險(xiǎn)性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中為嚴(yán)格，一般對(duì)于P級(jí)要求（×10 -9級(jí)）制程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質(zhì)的EP (Electronic Polishing)管材，對(duì)于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質(zhì)的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優(yōu)點(diǎn)，而且對(duì)凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經(jīng)過了溶解、壓延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復(fù)雜過程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗凈技術(shù)，其Rmax≦0.7mm。

氣體泄漏報(bào)警裝置

**氣體報(bào)警：如果氣瓶是集中存放的話，可以節(jié)少成本，用戶只需在實(shí)驗(yàn)室的角落安裝一個(gè)氣體泄漏報(bào)警/**氣體探頭,如果氣瓶房氣體發(fā)生泄漏的話，感應(yīng)探頭會(huì)即刻將信號(hào)傳至中心實(shí)驗(yàn)室的液晶顯示瓶上，并發(fā)出預(yù)警的聲音，這樣用戶就可以發(fā)即時(shí)維修。

低壓報(bào)警：當(dāng)用戶在實(shí)驗(yàn)室工作時(shí)，需要知道氣體是否快要用盡，氣瓶壓力是否足夠，這對(duì)實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)不間斷氣體供應(yīng)是很重要的;