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單軸及多軸氣浮平移臺
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全面測角儀,激光平面干涉儀
產品簡介 單軸及多軸氣浮平移臺采用壓縮空氣作為潤滑介質實現高精度的直線運動,配合直線電機和光柵尺可實現超高的定位精度;其運動平穩,響應迅速,可適應大的加速運動;應用于高速輕載,定位精度超高的場合產品特點 直線度超高 單軸及多軸氣浮平移臺低振動,無摩擦,免維護 定位精度高 運行平穩,承載和剛性大技術參數 直線度:<0.3μm(100mm內) 承載: 根據需求設計(取決于氣浮面的大?。?br /> 具體需求可根據客戶的實際需求設計;包括長度、高度、寬度等外形及安裝尺寸。 另外根據客戶需求,可配國產/進口的直線電機或絲杠加步進/伺服電機。
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