商品簡介:  

   601M型質量流量計和控制器（MFC）提供了一種全新尺寸的質量流量控制方式。601M質量流量計和控制器采用已經被廣泛證明的PORTER標準MFC用熱式傳感器和層流原理。并結合PORTER EPC型比例電磁閥。EPC型比例電磁閥已經被很多分析儀器制造商應用在精確的氣體流量的控制上。因此601M型質量流量計和控制器是一款既經濟又不失精確和穩定控制的優秀產品。
技術指標
· 流量范圍：滿量程從40SCCM到10SLPM（N2@70℉&5PSIG）
· 響應時間：3～4秒
· 精度和線性：±2%滿量程
· 重復性：±0.2%滿量程
· 量程比：50：1（2%-*滿量程）
· 工作溫度：-10 ～70℃（14-158℉）
· 溫度漂移：±0.1%/℃
· 壓力漂移：±0.1%/atm（相對于N2）
·設定點輸入/流量信號輸出：0-5Vdc（流量信號輸出的zui小負載電阻2KΩ）
·供應電源：±12（±5%）或+15（±10%）VDC（電流消耗﹤250mAdc）
·安裝方向：對位置不敏感
·預熱時間：10分鐘
·電氣連接：D型（9針）
·過程連接：1/8″NPT內螺紋

結構材質
主體：鋁
閥帽：鋁
孔：黃銅
閥組件（接液） ：不銹鋼

Kalrez@and Viton®are registered trademarks of DuPont Dow Elastomers L.L.C

密封材質（O型環和閥座）：Buna N. EPDM,Kalrez®,

Neoprene或Viton®
過程連接 ：鍍鎳銅（入口）和鋁（出口）

訂貨信息

訂貨時，請提供：

·流量范圍

·氣體類型

·工作溫度

·入口壓力

·出口壓力

·標定的標準溫度（如：0℃，20℃，21.1℃或25℃）

·密封材質

·附加選項（如：街頭，連接電纜，等）