產品型號: | EX-3000 | | |
| 品牌:日本電測 | | |
產品簡介: | | | | |
| 本機能精確測量極細小物件鍍膜厚度,可進行單層及多層膜厚測定、合金膜厚成份比同時測定及無素的光譜峰值測定分析。 | | | | |
主要技術參數: | | | |
| 儀器特點: | | |
| 搭載MS-WINDOWS系統(*的操作性與高精度測定) |
| 使用與IBM PC兼容個人電腦,采用MS-WINDOWS軟體,使用時多彩多姿。 |
| 采用二種濾波器 | | |
| 用用數位式濾波器外另有機械式濾波器(兩種濾波器),在測定時,若是zui適當的條件下, |
| 經常可得到zui高的精度。 | |
| 準值儀5種孔徑內藏式 | | |
| zui小的準值儀孔徑僅0.1 mm,可測定極微小的部品。 |
| 標準:0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另備有2種特別規格可供選購。 |
| 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5 | | |
| 0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5 | | |
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| 自動測定測量臺 | | |
| 利用鼠標來調整測量位置,非常敏捷快速。或是測量位置已完成登陸時,可連續自動測定, |
| 利用座標補正、連結頻道,來應付各種測量軌跡。亦可用自動測定來作標準片校正。 |
| *的顯示機能 | | |
| 測定部顯示盡像的表示 | | |
| X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準儀照射測定物的位置,可由倍率 |
| 率更機能來實現盡面上測出物放大。 | |
| 在膜厚測定中的能譜表示 | |
| 由多頻分析器可快速處理能譜分析。可執行測定物的能譜分析表示,操作簡單。 |
| 提長資料處理的速度 | | |
| 充實測量報告的作成機能 | |
| 采用MS-WINDOW軟件,測定畫的擷取,非常簡便,可充襯測量報告的制作機能。可同時間 |
| 隔處理多項工作,機器在測量中亦可處理其它工作:包括如測量報告的制作。 |
| 測定物膜厚附著分布表示 | |
| 以三次元圖案來表示測定物膜厚附著狀態的分布,作判定時一目了然。 獲得安心的保證性。 |
| 自己診斷機能及X線管保食機能 | |
| 自己診斷機能,迅速的對策來排除機器的因擾。附有X線管的使用時間及耐久時間表示機能, |
| 可加強保養的安全性。 | | |
| 儀器詳細介紹: | | |
| 1. X線源:油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓,可變管電壓。 |
| 2. 照射方式:由上而下垂直照射方式。 |
| 3. 檢出器:比例計數管。 | |
| 4. 濾波器:采用 Co 和 Ni 雙濾波器及數字式濾波器,可單一或同時使用。 |
| 5. 準直儀:Collimator 采用五種孔徑一體成型式,可自動切換使用。 |
| 0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φ㎜. | |
| (選購) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φ㎜. |
| (選購) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φ㎜. |
| 6. 樣品觀測系統:彩色CCD及高畫質顯示屏。 |
| 7. 多能譜分析器:使用256高頻分析器,光譜自動分析,在執行測量及運算時,非常快速。 |
| 貳. 計算機操作部: | | |
| 8. 計算機系統:(※僅供參考) | |
| IBM 兼容中文個人計算機. | |
| CPU:In Celeron 1GHz. | |
| RAM:128 MB. | | |
| Floppy Disk:3.5 ×1, 40倍速 CD-ROM ×1. |
| Hard Disk:40 GB. | | |
| 17" 高畫質顯示屏. | | |
| EPSON彩色噴墨式打印機。 | |
| 9. 本機型(CO**OS-1X系列)之操作系統采中文窗口(Windows98)對話式操作,非常簡便。 |
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| 參. 特性說明: | | |
| 10. 測量項目: | | |
| 單層膜厚測定. | | |
| 2層膜厚測定. | | |
| 3層膜厚測定. | | |
| 無電解鎳膜厚測定. | | |
| 合金膜厚成份比同時測定. | |
| 元素的光譜峰值測定分析. | |
| 11. 測量材質:原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。 |
| 12. 測量范圍:原子序22 ~ 24 , 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 , 約 0.1 ~ 30 um. 原子序 |
| 41 ~ 51 , 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 , 約 0.05~ 10 um. |
| 13. 測量機能: | | |
| 同一點重復測定機能 | |
| 輸出形式設定. | | |
| 能譜測定. | | |
| 14. 測量條件或膜厚規格可以保存. | |
| 當要測量相同的制品時,若測量條件已儲存,可以馬上進行測量。 |
| zui大檢量線檔案數:可登錄儲存100組檔案。 |
| zui大測量檔案數 :可登錄儲存300組檔案。 |
| 15. 檔案記錄: | | |
| 每一個批號可儲存無限個測量數據.(因所使用的計算機之容量大小而定) |
| 每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱. |
| 每個批號可單獨執行統計處理. | |
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| 每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線). |
| 16. 數據處理: | | |
| 統計值表示:平均值、標準偏差、zui大值、zui小值、上下限值范圍、Cp、Cpk。 |
| X-R 管制圖. | | |
| 柱狀圖:有自動設定及自己任意設定二種方式。 |
| 可彩色打印觀物顯示屏上所觀測之圖像。 |
| 17. 底材補正:當樣品與標準片的底材不同時,可作底材補正。 |
| 18. 觀物顯示屏:十字刻度線的高分辨率彩色觀物顯示屏。 |
| 肆. 安全裝置. | | |
| 19. 本機俱有自動安全斷電系統功能. | |
| 20. 由鎖匙開關來控制X 線輸出,以防止外人任意操作. |
| 伍. 其它機能. | | |
| 21. 密碼辨識功能 | | |
| 22. 裝置維護調整. | | |
| 23. 測量部主機: 尺寸:362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜. |
| 重量:約 44.2 Kg. | | |
| 24. 操作部:(※僅供參考) | |
| 計算機尺寸:180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜. |
| 重量:約 8.8 Kg. | | |
| 顯示屏尺寸:360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜. |
| 重量:約16.5 Kg. | | |
| 打印機尺寸:500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜. |
| 重量:約 4.3 Kg. | | |
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| 柒. X-Y-Z軸可移動式測量臺. | |
| 25. 測量臺尺寸及移動量. | |
| 測量臺尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜ |
| 移動量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜. |
| 26. 測量樣品限制. | | |
| 樣品限制高度: 45㎜ | | |
| 樣品限制重量: 3 Kg. | |
| 捌. 使用電源. | | |
| 27. 電壓: AC100V ±10V ; 50/60Hz |
| (選購) AC110V, AC220V. | |
| 28. 容量: 700V | | |