技術參數:

--元素范圍:    Ti22 – U92 同時分析層數和元素定量:5層(4層+基體)；zui多同時15種元素定量

--X射線激發:   100瓦(50kV-2.0mA)微焦點鎢靶X射線管（可選鉬靶X射線管）

--X射線檢測:   高分辨封氣 (Xe)正比計數器，靈敏度高，可zui多裝備3種二次濾光片

--準直器:       單準直器或多準直器系統，準直器系統zui多可安裝4種規格的準直器，備有各種規格準直器（0.015mm-0.5mm)圓形或矩形供客戶選用

--數字脈沖處理器:  4096通道數字多道分析器,包含自動波譜校正和Pulse Pile Rejection功能

--樣品臺:                程控XYZ軸:300 x 200 x 230mm

                         手動XY軸：250 x 250mm＋230mm程控Z軸

                         固定位置樣品臺，zui大高度230 mm

--CCD系統:   1/2" CMOS-640X480 VGA resolution鏡頭標準為15倍，可選購40倍或由軟件放大X1、X2、X3、X4 激光自動對焦

--自由距離測量DIM:  在12.7~88.9mm自由聚焦范圍內可準確聚焦樣品表面任意測量點，并有自動雷射聚焦功能

--統計報表功能: 平均值、標準偏差、相對標準偏差、zui大值、zui小值、數據變動范圍、量測點數、控制上線圖、控制下線圖、CP、CPK數據分組、X-bar/R圖、直方圖

數據儲存功能統計報告軟件允許用戶自行設計報表 (另可選購Excel 輸出功能)

--電源:        85-130V或者215-265V、頻率47-63Hz

--工作環境:    10－40℃、相對濕度小于98%，無冷凝水 

--儀器尺寸:     H744 x W686 x D813

--重量:         160公斤