ALIO精密運動控制系統概述：

Alio創始于2001年，我們的理念——不斷探索更好的方法來滿足納米級運動控制的需求。這個zui初的理念逐步擴展為一條產業鏈：六軸運動控制系統、氣浮導軌系統、機械軸承系統、線性和旋轉納米級系統、高真空系統，廣泛應用于半導體、生物醫學、印刷、3D打印、光刻、微納加工、同步輻射加速器等領域。

ALIO 設計和生產的精密運動控制系統使納米水平的制造和研發成為可能。

一、線性運動系統

　　ALIO致力于納米精度運動的研究已超過10年。在這些年中，ALIO的工程師們滿懷激情，不斷開發產品、改進生產技術，現已擁有“6-D Nano Precision?”和“True Nano?”的注冊商標。在設計和制造中，ALIO采用了全新且*的技術和組件，解決了傳統精密定位產品難以避免的一些問題，產品已通過NIST（美國國家標準與技術研究院）的檢測，達到可追溯的納米級精度。

　　ALIO的線性平臺產品在內擁有*的性能和可靠性，僅僅使用機械導軌的平臺，其性能已達到競爭者使用氣浮導軌平臺的水平。當競爭者還在研究二自由度范圍的重復性和精度時，ALIO已進入六自由度納米精度的研究。

ALIO精密運動控制系統

　　ALIO旗下的所有線性平臺產品系列均擁有世界1流的性能。為了適合不同的應用，可采用不同的配件組合，如馬達、編碼器以達到*性價比。

1. 精密交叉滾柱導軌平臺的加工及裝配擁有ALIO設計。
2. ALIO XY線性系統具有不可比擬的六自由度的性能。
3. 氣浮配重的音圈電機在垂直Z軸上的應用。
4. “6-D Nano Precision?”直線電機專為低成本需求設計。
5. 線性壓電馬達。

二、Hybrid Hexapods混聯六自由度精密位移臺

　　六軸并聯設計zui初被用于游樂設施中，后來又在飛行員培訓的飛行模擬器中使用。經過多年的發展，PKM的技術不斷更新，延伸至微米精度制造、實驗室運動控制需求以及產品檢驗等領域。盡管現代許多公司叫賣可達納米級分辨率和重復精度，六自由度納米精度的真正突破是ALIO的6-D Nano Precision ?。

　　六軸并聯臺有12個節點或屈曲分別在6個移動線性鏈接的末端，有同軸及偏軸誤差。6個鏈接一旦整合到六軸并聯臺中，即使插入正逆運動方程，這個剛性問題也會導致整個系統的誤差增大。這所有的誤差都將不能使任何的六自由度位移臺成為True Nano ? 定位運動平臺。路徑或直線運動在納米精度運動中是至關重要的。因此，PKM在三軸并聯臺的研究中仍具有實際意義。ALIO在過去的12年里設計并改進六軸和三軸并聯臺，重點在三軸并聯臺中安裝線性軸來提高六軸并聯臺的精度。ALIO線性馬達三軸并聯臺具有低于10nm重復精度和100nm精度的無限分辨率。在XY線性運動系統上組裝成五軸或增加一個旋轉來組成完整的六自由度并聯精密位移臺。ALIO混合六自由度并聯精密運動控制系統相較于傳統的六軸并聯臺在精度上具有明顯的提高。

　　無論是從現在還是未來來看， 6-D Nano Precision?的產生和發展都是納米精度系統的自然過程，ALIO混合六自由度精密運動控制系統通過正逆運動實現了簡單設計的類六軸運動系統，以G代碼編程來解決CAD-CAM的裝配問題。

　　ALIO混合六自由度精密運動平臺具有可擴展性，可載物100公斤，行程支持從5毫米到1米以上。不論產品尺寸大小， 6-D 運動系統都優于其他產品使之保持在一個精度范圍內。該設計與制造的突出特點就是，即使增強工作結構的體積或剛性強度，都能使系統保持直線運動。

　　總之，六軸并聯臺除了非常適合于處理6-D Nano Precision?的應用，仍有很多其他應用領域。ALIO混合并統將更好的服務于各項應用，特別是True Nano?可用于剛性需求增強的平直度和平整度的機械加工和粘接。

三、并聯運動系統

　　ALIO擁有兩項并聯運動機器人的：1、三軸Tripod（美國號6769194）；2、六軸Hexapod（美國號6671975），該系統取得了革命性的突破，能保證加工工藝和產品檢測達到納米精度。

　　早在2001年，由ALIO設計制造的真納米Tripod和Hexapod機器人首度面世，并取得。多年以來，ALIO的Hexapod一直都是六軸機器人納米應用的業界標準。ALIO真納米Hexapod的運動速度高達250毫米/秒，依然能保證虛擬編程的*中心點的定位精度達到納米級。該系列產品已奠定下一代自動化納米定位系統的基石，可滿足諸多域諸如光電子、封裝、測量測試、微加工、政府、醫療和半導體制造等非常苛刻的應用。

四、氣浮導軌系統

ALIO開發的*產品--6自由度納米定位氣浮導軌運動系統，廣泛應用在制造、檢驗、維修和計量等領域。ALIO的氣浮產品廣泛應用于半導體、航天、噴墨打印、光刻、光學檢測、光伏等領域，擁有多項平面和Z軸方面的。

　　ALIO旗下的納米精密平面氣浮導軌系統已將氣浮導軌運動的性能提升到一個全新的水準，該系統的目的就是滿足和超越當今半導體晶片、平板顯示、納米制造和光學檢測等領域對精密定位系統的苛刻要求。

五、Z軸升降運動系統

傳統的Z軸楔垂直平臺，至少包括復雜的彎角、3套導軌、帶聯軸器和編碼器的電機這些結構件，每個組件都會增加整體誤差，嚴重影響系統整體的精確度。

　　ALIO摒棄這種設計，提供了一系列高精度、高重復性的垂直平臺。

六、旋轉運動系統

　　ALIO為滿足并超越當今高精度旋轉運動的需求，ALIO開發了真納米精度旋轉平臺。該產品線日漸豐富，我們愿與廣大客戶合作，提供解決方案，滿足客戶需求。

七、真空運動系統

      在*科技行業中，要求運動尺度越來越小已成為共同趨勢，相應地納米運動管理更加普及深入。在眾多對定位敏感的行業，如光纖、生物醫學、微型機械、電子、半導體、能源、光學、航空航天、同步加速器等等，這種趨勢是很普遍的。      在納米精度的真空平臺和機器人系統方面，ALIO已積累豐富經驗。除氣浮導軌系統外，ALIO的其他產品均適用于超高真空環境。用于高真空（10-7托）和超高真空（10-10托）環境的各種平臺和系統如線性、旋轉、中空XY、Hexapod、Tripod和測角器等，所有的超低出氣材料和部件都經過精心準備和烘烤。

      納米定位應用要求非常苛刻，當運動處于真空下，或要求延長行程、重復性更精細、速度更高、正常運行時間更長、成本更低時，就更增加了復雜程度。

　　要使各組件*而協調地一起工作以達到納米精度，在加工和選擇組件上的挑戰不容低估。驅動機構、導軌、反饋系統、運動控制器、運動結構和環境均需要設計完善，以滿足在大氣或真空環境的納米精度。真空環境下的挑戰會隨真空度、定位性能、出氣的不同而變化。

八、定制運動系統

　　ALIO用企業的核心技術為OEM客戶提供定制化服務，令客戶顯著增效，同時也促進了新納米精度應用的推廣運用。不僅如此，ALIO不斷超越OEM客戶的需求，幫助客戶成為其行業*。

　　將模型整合去滿足甚至超越客戶的*需求，在此方面，ALIO有非常豐富的成功案例，并*跟蹤服務。因此，ALIO獲得眾多客戶的*青睞。

　　一直以來，ALIO秉承誠實和正直的宗旨，幫助客戶理解精密應用的復雜性。ALIO不只是局限于達到客戶其所想，更是將相關知識為客戶深入剖析，促其升華。