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產      地:
日本
所在地區:
上海上海市
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特性
ULVAC機工的GCD系列直聯型油旋片式真空泵,具有耐腐蝕性,可用于對有毒氣體和腐蝕性氣體的排氣,適用于化學,半導體和生化行業。共有三種機型,排氣范圍在50L/min.至200L/min.之間。
使用指導
1.GCD系列真空泵請使用合成泵油(SOM)。
2.對任何有毒或腐蝕性氣體排氣前請咨詢當地銷售商。
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.半導體業界
2.化學業界
3.化學處理后干燥
4.生化業界
5.防污染耐酸性處理

型 號
實際排氣速度(L/min.)
極限壓力
(Pa)
吸氣管徑
(mm)
重量
(kg)
外形尺寸
W×L×H(mm)
電機
功率(W)
可選電壓(V)
GCD-051X
50/60
(50/60Hz)
6.7×10-2氣鎮閥關閉)
6.7(氣鎮閥打開)
KF-25
14.1
165.5×423×222.7
200
    單相
100.115.200.220.230
GCD-136X
135/162
(50/60Hz)
6.7×10-2氣鎮閥關閉)
6.7(氣鎮閥打開)
KF-25
25.4
170×493×241.1
400
單相100-120.200-240
三相200-240.380-460
GCD-201X
200/240
(50/60Hz)
6.7×10-2氣鎮閥關閉)
6.7(氣鎮閥打開)
KF-25
26.6
170×509.5×241.1
750
單相100-120.200-240
三相200-240.380-460

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