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聲學所供應波紋管密封型壓電執行器


波紋管密封型壓電執行器由共燒型壓電陶瓷及其波紋管封裝膜片組成。產品位移大、響應快、推力大、發熱很低、密封絕緣性好且循環壽命高,適用范圍廣,可用于集成電路制造、精密加工、細胞醫學、高精度成像的納米驅動、定位和減震單元。

特性:

高可靠性;

精確的納米定位;

機械零損最小化;

工作溫度:-30°C-150°C;

最大可達3600N;

波紋管密封型壓電執行器規格系列

規格型號

長度

±0.1(mm)

靜態電容

±20%(uF)

電壓

V)

位移

±10%(μm

剛度

N/μm

推力

N)

JKZK50-11-F

48

4

120

50

18

900

JKZK60-11-F

64

5.8

120

60

14

900



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