1. 產品概述

Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。

提供成本低的 4 x 4“ 外延片生長

與同類 MBE 系統相比，模塊化架構的占用空間要小得多

允許多兩個生長模塊，從而提高產量或允許處理不相容的材料

可選的隔板安裝優化了潔凈室空間

集成了業界具創新性、可靠的系統硬件、源和組件

Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。