桌面無掩模(直接曝光)光刻系統，通過其復雜的軟件支持簡單的光刻操作。
桌面臺式無掩模光刻系統 電動 PALET DDB-701-DL,桌面臺式無掩模光刻系統 電動 PALET DDB-701-DL
產品特點
硬件特性
小型化
內置隔振機構和真空吸油泵
只需要電源和光刻間
軟件特性
用戶方便型接口
簡易流程
支持對準和暴露條件檢查*限制電動載物臺模型
型號 | DDB-701-MS | DDB-701-DL |
載物臺(Stage) | 手動 XYZθ載物臺 | 電動 XYZθ載物臺 |
曝光光源 | 365nm (typ.) LED | |
Min. 線寬 | 3μm *1 | |
單次曝光面積 | 1mm×0.6mm *1 | |
每張照片曝光時間*3 | 1～2 sec. *1 | |
Max. 曝光區域 | 25mm×25mm(手動連接) | 25mm×25mm(自動連接) |
可接受的工作尺寸 | 60mm ×60mm (t3mm) | |
相容文檔格式 | DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS | |
主體尺寸 | 300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H) | |
主機重量 | 30kg |
*1在使用×10物鏡的情況下
*2在使用×2物鏡的情況下
*3曝光時間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)
PALET DDB-701日本無掩膜光刻機 研發及小批量訂單利器
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深圳市田野儀器有限公司
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