磨削頭

• Z軸驅動，可調節角度

•可調節劃線力從3gr到50gr; 恒重

•金剛石工具：可調節角度和旋轉

•刀具偏置，十字準線

晶圓

•晶圓片直徑3''

•晶粒尺寸：小200μm，方形大10mmx10mm

•晶圓厚度：100μm及以上 

•手動旋轉90度 

•通過微米螺絲旋轉對準  

•X Y軸/分辨率1μm  

•通過漸進式操縱桿控制運動

視覺系統

•光學放大倍率（1至4倍），與其他應用兼容

•校準：可編程區域/手動

•TFT監視器17'和CCD彩色高清攝像機

•目標發生器

•LED照明

斷路器

•斷路模式：操作員控制或自動

•斷開模式：使用頂部聚脂薄膜表面和底部切割器

•聚酯薄膜：可清除以避免污染

•目標發生器

•LED照明

參數

•步驟指數

•Y劃線速度從0.1至20 mm / sec

•劃線長度可編程

•重復劃線

•劃線數量

•元件編號

•觸地速度

•切割速度

技術規格

功率：100 / 230VAC，500watt

氣壓：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）

重量：70kgr。