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陜西易度智能科技有限公司

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  • 2025

    04-25

    質量流量控制器在半導體CMP設備中的詳細應用

    化學機械拋光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)是半導體制造中實現晶圓表面納米級平坦化的關鍵工藝,其核心設備CMP機臺通過化學腐蝕與機械研磨的協同作用,確保芯片多層結構的精確加工。質量流量控制器(MassFlowController,MFC)作為高精度氣體流量控制的核心部件,在CMP設備中扮演了重要角色。CMP工藝對氣體控制的嚴苛需求CMP工藝的核心是通過拋光液與晶圓表面的化學反應及機械摩擦實現材料去除。在此過程中,多種工藝氣體(如氧氣、氮氣、氬氣)需精確控制,以滿
  • 2025

    04-24

    氣體壓力控制器是什么?與氣體流量有什么關系

    氣體壓力控制器的定義與工作原理氣體壓力控制器是一種用于監測和調節氣體壓力的自動化裝置,其核心功能是維持系統壓力在設定范圍內,確保設備安全運行并優化工藝效率。它通過傳感器、閥門等組件實現動態調節,廣泛應用于工業、能源、醫療、交通等領域。氣體流量與壓力的關系氣體流量(單位時間內通過的氣體體積)與壓力(單位面積上的作用力)之間存在復雜的動態關聯,主要受流量-壓力曲線與阻力系數、流動狀態與雷諾數、溫度與介質特性的影響壓力控制器如何影響氣體流量氣體壓力控制器通過調節系統壓力,間接或直接控制流量,兩者在以下
  • 2025

    04-23

    層流壓差式質量流量控制器在特氣柜中的應用實例分析

    層流壓差式質量流量控制器(LaminarDifferentialPressureMassFlowController,簡稱層流壓差式MFC)憑借其高精度、快速響應、耐腐蝕等特性,已成為特種氣體輸送與控制系統中的核心組件。尤其在特氣柜(特種氣體控制柜)中,其應用場景覆蓋半導體、光伏、環保監測等多個領域,通過精準的流量控制確保氣體供應的安全性與工藝穩定性。一、半導體制造:高純特氣輸送與工藝優化在半導體晶圓制造中,特氣柜需安全存儲并輸送高純度、高腐蝕性氣體(如SiH?、Cl?、HF等),而層流壓差式M
  • 2025

    04-22

    層流壓差式質量流量控制器在環保領域的應用方案及技術優勢

    層流壓差式質量流量控制器(MassFlowControllerMFC)在環保領域(如大氣監測、流量校準、VOCs在線監測系統等)的應用廣泛,小編將結合實際案例并分析其技術優勢。一、在環保領域的典型應用場景及案例1.大氣監測中的氣體采樣與流量控制應用需求:大氣監測需對痕量污染物(如PM2.5、SO?、NOx等)進行高精度采樣,流量穩定性直接影響數據準確性。例如,在環境空氣質量監測站中,需確保氣體采樣流量誤差小于±1%,且需適應戶外復雜溫濕度環境。實際案例:某城市環境監測站采用層流壓差式MFC控制氣
  • 2025

    04-21

    層流壓差式質量流量控制器在光伏行業的應用

    在光伏制造領域,氣體流量的精準控制是提升工藝質量和生產效率的核心需求之一。隨著光伏技術向高效化、精密化方向發展,層流壓差式質量流量控制器(LaminarDifferentialPressureMassFlowController,簡稱層流壓差式MFC)憑借其測量原理和性能,逐漸成為光伏行業氣體流量控制的關鍵設備。層流壓差式MFC基于流體力學中的哈根-泊肅葉定律(Hagen-PoiseuilleLaw),通過層流元件強制氣體進入層流狀態(雷諾數Re光伏行業中的應用場景薄膜沉積工藝在化學氣相沉積(C
  • 2025

    04-18

    層流壓差質量流量計在真空行業的方案應用

    隨著真空技術在半導體、材料科學、光學鍍膜等領域的廣泛應用,對氣體流量的精準控制需求日益凸顯。層流壓差式流量計憑借其高精度、快速響應及低壓損特性,成為真空工藝中氣體流量測控的核心工具。一、真空行業的工藝需求在真空工藝中,氣體流量控制需滿足以下特殊要求:微流量精準控制:如真空鍍膜工藝中,氬氣、氮氣等工藝氣體的流量需穩定在mL/min級,微小偏差會導致鍍膜厚度不均或成分異常??焖賱討B響應:等離子體刻蝕等工藝需毫秒級氣體切換,傳統流量計因響應延遲易造成工藝波動。低壓損適應性:真空環境下氣源壓力極低(甚至
  • 2025

    04-17

    層流壓差式氣體質量流量控制器:為半導體制造提供精準的氣體流量控制

    一、工作原理與核心技術層流壓差式流量計基于哈根-泊肅葉定律,通過將湍流轉化為層流狀態,利用壓差與流量的線性關系實現精準測量。其核心組件包括精密層流元件和壓差傳感器,通過實時計算兩點間的壓差推算流量值。與傳統流量計相比,其優化設計的層流元件可避免湍流干擾,顯著提升測量精度。二、核心優勢解析1.高精度與穩定性測量精度可達±0.5%RD,在低流量范圍(如mL/min級)仍保持穩定,滿足半導體工藝對氣體濃度的嚴苛要求。層流狀態的設計保障了長期穩定性,減少校準頻率,適用于連續生產場景。2.快速響應能力毫秒
  • 2025

    04-15

    智能國產質量流量控制器:從安裝到調試的完整操作指南

    智能國產質量流量控制器(MFC)廣泛應用于半導體制造、光伏產業、生物醫藥、化學分析等領域,其高精度、快速響應和穩定性為工業生產提供了可靠保障。以下從安裝、調試到日常維護,提供一份完整的操作指南。一、安裝前準備環境要求安裝位置應遠離電磁干擾源(如變壓器、電機),建議距離≥5米。確保通風良好,避免高溫、高濕或腐蝕性氣體環境。地面水平,承載能力滿足設備重量要求。工具與材料潔凈氣管(推薦使用不銹鋼或聚四氟乙烯材質)。標準接頭(如VCR型、世偉洛克卡套管接頭)。防靜電工具、密封膠帶、真空脂等。設備檢查核對
  • 2025

    04-15

    陜西易度智能-國產替代化質量流量控制器、質量流量計

    國產替代浪潮下的技術突圍:陜西易度智能如何以“中國精度”重構流量測控產業版圖——解析中美關稅戰下的國產化優勢與創新路徑在中美貿易摩擦持續升級的背景下,關稅壁壘已成為中國制造業“卡脖子”難題的放大器。然而,危機中亦孕育機遇。陜西易度智能科技有限公司(以下簡稱“易度智能”)憑借自主研發的高精度層流質量流量計與控制器,不僅打破了國際品牌在微流量測控領域的壟斷,更以“中國精度”為國產替代提供了樣本。本文將從技術突破、市場策略及產業鏈協同三方面,剖析其在中美關稅戰下的競爭優勢與解決方案。關稅戰倒逼國產替代
  • 2025

    04-14

    層流壓差式質量流量計:揭示工業流量測量的關鍵原理與應用領域

    思考一個問題:為什么需要精確測量質量流量?在工業生產與科研實驗中,流體的質量流量(單位時間內流過某一截面的流體質量)是生產過程控制、能源管理和安全監測的關鍵參數。不同于體積流量受溫度、壓力影響的局限性,質量流量的直接測量更能反映真實的物質傳遞效率。而層流壓差式質量流量計因其原理與穩定性,成為高精度測控領域的核心技術之一。首先我們需要從他們的核心原理去看層流壓差式質量流量計的原理是基于哈根泊肅葉定律主要分為兩個步驟:第一步是建立層流狀態:通過流量計內部的層流元件把湍流狀態下的流體轉變為層流狀態,使
  • 2025

    04-11

    與傳統流量計相比,快速響應氣體質量流量計有何不同?

    與傳統流量計相比,快速響應氣體質量流量計的不同之處主要體現在以下幾個方面:一、測量原理傳統流量計:基于體積流量進行測量,即流體通過管道的體積在單位時間內的流量。常見的傳統流量計有渦輪式流量計、電磁式流量計、超聲波流量計等,它們內部有運動部件,通過不同的物理原理來測量流量。快速響應氣體質量流量計:基于質量流量進行測量,即流體通過管道的質量在單位時間內的流量。它采用先進的傳感器技術和信號處理技術,能夠實時監測流量信息。二、測量精度與穩定性傳統流量計:受到壓力和溫度等多種因素的影響,測量精度可能不如質
  • 2025

    04-11

    精準氣體控制,助力芯片制造——易度MFC在半導體行業的應用

    在當今信息化高速發展的時代,半導體作為各類智能設備的核心元件,其制造工藝復雜而精細,對工藝環境提出了要求。其中,氣體的精準輸送與控制,是半導體工藝成敗的關鍵之一。作為氣體流量控制領域的專業企業,易度智能以高性能MFC(質量流量控制器)為核心,為半導體行業的多道核心工藝環節提供了高可靠性的解決方案。氣體流量控制在半導體工藝中的關鍵作用在半導體芯片的制造過程中,氣體被廣泛應用于以下核心工藝中:化學氣相沉積(CVD):需將反應氣體均勻注入反應室,形成致密薄膜;等離子體刻蝕(PlasmaEtching)
  • 2025

    04-09

    質量流量計的工作原理:從物理學到工業應用的橋梁

    在現代工業和科研領域,質量流量計(MassFlowMeter)是精確測量氣體或液體質量流量的關鍵設備。無論是半導體制造、燃料電池,還是環境監測,質量流量計都扮演著重要的角色。本文將深入解析質量流量計的工作原理,幫助您理解這一精密儀器背后的科學邏輯。一、質量流量計的核心概念質量流量計的核心任務是測量流體(氣體或液體)的質量流量,即單位時間內通過某一截面的流體質量。與體積流量不同,質量流量不受溫度、壓力變化的影響,因此在需要高精度控制的場景中尤為重要。根據工作原理,質量流量計主要分為以下幾種類型:1
  • 2025

    04-07

    氣體質量流量控制器在配氣儀、動態校準儀中的應用

    氣體質量流量控制器是配氣儀中的核心部件,可提供精確、穩定的氣體流量控制,讓氣體混合、稀釋更便捷。易度MC系列質量流量控制器(新款EC系列)采用層流壓差式原理,具有高可靠、高穩定、高精度和高重復性的優勢,同時在抗過載能力和抗污染能力上表現良好,助力配氣儀廠商實現更精準的氣體濃度混合配比。應用要求:配氣儀的氣體配比通常為100:1等,常見的有兩路甚至更多,一般兩路為一路標氣,一路稀釋氣體。要實現精準配氣,需要流量控制器在各流量點控制氣體準確度高,重復性好,同時對壓力波動不敏感。主要問題:1、控制穩定
  • 2025

    04-03

    質量流量控制器安裝時對于直管段的要求

    不管是熱式質量流量控制器,還是層流壓差式質量流量控制器,都需要保證流速分布的穩定,才可以測量控制更準確,那么為什么熱式質量流量控制器在安裝的時候對于直管段有一定的要求,層流壓差式質量流量控制器卻不需要呢?這是由于熱式質量流量控制器的工作原理是基于熱傳導,流量計或流量控制器內部并無整流元件。大多數熱式MFC采用旁路結構,主流量的一部分通過旁路,傳感器僅測量旁路中的流量,再通過比例關系推算總流量。若入口處存在劇烈湍流(如軟管、閥門、彎頭后方),主流量的流速分布可能嚴重不均。此時,旁路中分配的流量可能
  • 2025

    04-02

    呼吸機測試中微流量氣體質量流量控制器中的應用詳解

    在呼吸機測試中,微流量氣體質量流量控制器(Micro-FlowMassFlowController,MFC)是確保呼吸機性能和安全性的關鍵組件。一、微流量MFC在呼吸機測試中的作用精準控制氣體流量呼吸機需在微升/分鐘(μL/min)至升/分鐘(L/min)范圍內精確調節氣體流量,尤其是針對新生兒或小動物等場景的低流量需求。MFC通過熱式或壓差式傳感技術實時測量流量,并通過閉環控制調整閥門開度,確保流量輸出與設定值一致。模擬不同呼吸模式在測試中需模擬潮氣量(TidalVolume)、壓力支持(PS
  • 2025

    04-01

    質量流量控制器(MFC)在氣相色譜儀中的應用詳解

    質量流量控制器(MFC)是氣相色譜(GC)系統中的核心組件,通過精確控制氣體流量確保分析結果的準確性和重復性。一、質量流量控制器在GC中的作用載氣流量控制控制載氣(如H?、He、N?)的流速,確保色譜柱內樣品分離的穩定性和保留時間的重現性。檢測器氣體調節為火焰離子化檢測器(FID)等提供氫氣和空氣,優化燃燒效率以提升靈敏度。多維色譜切換在多維GC中,通過多通道MFC實現不同色譜柱間的氣體切換與流量平衡。壓力/分流比控制在分流/不分流進樣中,調節分流比,確保樣品均勻進入色譜柱。二、應用場景常規恒流
  • 2025

    03-31

    層流壓差式質量流量控制器為什么響應速度如此快?

    層流壓差式質量流量控制器因其快速響應速度,在半導體制造、生物醫藥、新能源等工業領域備受青睞。其快速響應的核心機制源于壓力波傳播的物理特性、信號處理的高效性以及結構設計的優化。一、核心機理:壓力波的聲速傳播特性層流壓差式流量控制器的響應速度與壓力波的傳播速度直接相關。當流體流經層流元件時,其兩端的壓差信號通過壓力波傳遞至傳感器。壓力波本質上是聲波的一種,傳播速度與聲速一致(約340-350m/s)。例如,若層流元件長度僅為1cm,壓力波傳遞時間可小于1毫秒。這一特性使得壓差信號的獲取幾乎瞬時完成。
  • 2025

    03-28

    質量流量計:精準測量的工業“智慧之眼”

    層流壓差式質量流量計:精準測量的革新力量在工業自動化與精密制造蓬勃發展的今天,流量測量技術已成為生產控制的核心環節。層流壓差式質量流量計憑借其原理和高性能,正逐步成為高精度氣體流量測控領域的技術。一、技術原理:科學定律的精準演繹層流壓差式質量流量計基于哈根-泊肅葉定律設計,通過層流元件將湍流轉化為穩定層流狀態,利用壓差傳感器測量流體兩端的壓力差,結合溫度與壓力補償,直接計算質量流量。其核心流程包括:層流整流:通過精密設計的層流元件,強制流體進入層流狀態,消除湍流干擾。壓差測量:高靈敏度壓差傳感器
  • 2025

    03-27

    質量流量控制器是什么

    層流壓差式質量流量控制器(MFC)是一種基于流體力學原理的高精度氣體流量控制設備,其核心技術結合了哈根-泊肅葉定律、溫度壓力補償算法及精密傳感技術,以下是關于質量流量控制器(MassFlowController,MFC)的詳細介紹,我們從以下幾點一起來了解一下::你了解質量流量控制器的原理嗎?差壓式MFC層流壓差測量通過層流元件將湍流整流為層流狀態,利用壓差傳感器檢測層流元件兩端的壓差信號,結合哈根-泊肅葉定律計算體積流量。該定律表明,在層流狀態下,體積流量與壓差呈線性關系,為高精度測量奠定基礎
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