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ICP-MS分析氫氟酸中的砷

閱讀:850      發布時間:2020-03-24
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    氫氟酸是一種無色、有刺激性氣味的揮發性液體。因為它的反應活性高,對溶解半導體硅晶片的非必需成分具有的功效,因此被認為是半導體產業必需的化學品之一。

 

    氫氟酸不容易離子化,被歸類為弱酸,但它的氫結合力強,與空氣中的水分反應時會引起大爆炸。另外,它的腐蝕性比鹽酸強,與其他酸不同,它能穿透皮膚,輕易滲透到組織內部,產生強烈的毒性。

    本實驗評估比較了不使用反應氣體的標準模式和使用氨氣的DRC模式的分析結果的可靠性。

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珀金埃爾默企業管理(上海)有限公司

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