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大型臭氧發生器的臭氧產生方式如下：

1.光化學光波中的紫外線將氧分子分解聚合成臭氧，就會形成大氣層上方的臭氧層。人工臭氧是光電技術產生的一種紫外光譜，波長λ=185nm（10-9m）。這種光很容易被O2吸收，從而產生臭氧效應，在美國被稱為臭氧燈。光化學合成臭氧的優點是純度高，對濕度和溫度不敏感，重復性好。這些特點非常適合臭氧作為人類治療和儀器中臭氧的標準來源，但缺點是能耗高。

2.利用DC電源電解含氧電解液，產生臭氧氣體。20世紀80年代以前，由于對電極材料、電解質和電解機理的大量研究，人們在電解過程中取得了很大的進步。目前，純水電解可以獲得高濃度的臭氧，但電解面積小，臭氧產量低。電解產生的臭氧濃度高，成分純，在水中溶解度高，具有良好的應用前景。

3.電暈放電法是模仿自然閃電產生臭氧的方法。在氣體中，利用人工交變高壓電場產生電暈，電暈中的自由高能離子離解O2分子并與之碰撞形成O3分子。電暈放電大型臭氧發生器應用廣泛，相對能耗低，臭氧產量高，*高。目前*單機產量300Kg/h，基于電暈放電原理。該方法通常消耗（1）6~7千瓦時/千克O3空氣源（2）14~16千瓦時/千克O3。電暈放電產生臭氧的裝置由高壓電極、接地電極、介質和放電間隙四部分組成，采用冷卻、氣源預處理等技術的高濃度臭氧發生裝置。