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超聲波噴頭是一種霧化噴頭，它是由壓電換能器產生的高頻振動作用在噴頭頂部上，從而在液膜中產生毛細波。一旦毛細波的幅度達到臨界高度（由于發生器提供的功率水平），它們就會變得太高而無法支撐自身，并且微小的液滴從每個波的頂部掉落，當液體離開噴頭的霧化表面時，它被分解成均勻的微米級液滴的細霧。在適當的條件下，霧化可以持續很長時間。

每個超聲波噴頭都以特定的共振頻率運行，這決定了液滴的中值尺寸。頻率通常在20–180 kHz的范圍內，其中最高頻率產生最小的液滴尺寸。

噴頭由鈦等高度耐用的材料制成，使其非常適合各種具有挑戰性的環境和化學物質。電活性元件包含在密封外殼內，可保護噴頭組件免受外部污染。液體進料管貫穿噴頭的整個長度。噴頭的設計確保液體只與噴頭內的鈦接觸。