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氦質譜檢漏儀
島津 MSE-2400系列氦質譜檢漏儀——分析管270°磁場偏轉系統（0.17T）氦質譜檢測系統
什么是氦質譜檢漏儀？
眾多檢漏方法中，氦質譜檢漏儀為現在檢測高真空度的良好選擇。島津新推出的MSE-2400系列氦質譜檢漏產品，性能優質，優勢突出。
產品型號
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| MSE-2400全自動便攜式氦質譜檢漏儀（油泵） 搭載專用油旋片泵。 | MSE-2401全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵內置緊湊式） 采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。 | MSE-2402/2403全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵外置搭載式） 采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。 | ||
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| MSE-3400/MSE-3410 全自動移動式高性能氦質譜檢漏儀 針對各種真空及汽車相關零部件的正規生產線檢查機。 | MSE-4400 電子封裝類專用氦質譜檢漏儀 在線大批量氣密性檢測機型，適用于半導體元器件、電子封裝器件等氣密性檢測。 |
氦質譜檢漏儀檢測方法
| 真空吹氣法（Spray法，噴氦法） （工作容積約5升）
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| 真空外覆法（真空Hood法，真空氦罩法）
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| 吹入法（吸槍法，sniffer法）
※需要使用吸槍。
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| 浸入法（bombing法，鋼瓶法）
※需要加壓裝置和檢測倉。 |
| 真空容器法（Chamber法，ベルジャー法）
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| 并列排氣法
※無線檢漏設備為選配。 |
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