電感耦合等離子體發射光譜儀的特點：

1、射頻發生器的高壓供電回路，采用*電子技術，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈，采用功率閉環反饋技術，控制精度小于0.1% 。

2、全自動點火 氣路智能控制，實現軟件點火，更方便。

3.安全冷卻水保護、氬氣保護、過壓、過流、滅弧保護更安全。                                 
4.輸出功率自動匹配調諧，功率參數軟件程序設定。                
5.分光器內充氬氣，使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的測量效果。

6.優良的光學系統，*控制系統，保證峰位定位準確，信背比優良、極小的基體效應。  
7.測量范圍寬， 超微量到常量的分析,動態線性范圍5—6個數量級。
8.檢出限低，大多數元素的檢出限可達ppb級。 
9.良好的測量精度，穩定性相對標準偏差RSD≤1.5%（5ppm），優于國家*標準（JJG768-2005）。

技術參數

射頻發生器（RF）

(1) 電路類型：自激振蕩電路，全自動點火，精密高壓開關電源供電系統，所有功能實現電腦軟件控制(點火、熄火、功率等參數設置)；實時功率控制；自動匹配調諧；光室恒溫；；

(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05% 

(3) 頻率穩定性：<0.1% 

(4) 輸出功率：700－1600w 

(5) 輸出功率穩定性：≤0.3% 

(6) 電磁場泄漏輻射強度：距機身300mm 電場強度E:<2V/m

進樣裝置:

(1) 輸出工作線圈內徑25mm，3匝 

(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管 

(3) 同軸型噴霧器外徑6mm 

(4) 雙筒形霧室外徑35mm 

(5) 氬氣流量計規格和載氣壓力表規格： 

  ①、 等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) 

  ②、 輔助氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min) 

  ③、 載氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min) 

  ④、 載氣穩壓閥（0-0.4MPa）

        儀器內設氬氣二次穩壓閥（0.3MPa）

    測光裝置:

      (1) 光電倍增管規格： R212UH 

      (2) 光電倍增管負高壓：200-1000V ，穩定性<0.05% 

      (3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A 

      (4) 信號采集為V/F交換：1mV對應100Hz

分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm 
(3) 光柵規格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，

     刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數：0.26nm 
(4) 波長范圍：190-500nm  
(5) 分辨率: ≤0.008nm 
(6) 掃描波長范圍3600線/mm 掃描波長范圍：190-500nm
(7) 步進電機驅動小步距：0.0006nm 
(8) 入射狹縫：20µm   出射狹縫：25µm
(9) 發射鏡規格：（78 × 105 × 16）mm 
(10) 透鏡ф30，1：1成像

電感耦合等離子體發射光譜儀整機技術指標：

測量波長范圍：

180-500nm    3600L/mm光柵

測量精度（重復性）：平均相對標準偏差RSD≤1%

測量穩定性：平均相對標準偏差RSD≤2

檢出下限：亞PPb級