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產品簡介
北京精測電子研發的小型勻膠機，價格經濟，結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內操作。
詳細介紹
小型勻膠機
勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。
LH3-EZ4勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內操作。采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內腔，經久耐用。
產品性能參數：
支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
速度可調范圍：100-10000rpm
加速度可調范圍：100-10000rpm/s
轉速分辨率：1rpm
轉速精度：＜±5rpm
可編程5組5步程序
寬電壓輸入：AC100-230V
產品特性優點：
75W直流無刷電機，單片機控制
高清晰文本顯示器
可單步和多步勻膠操作
PP耐腐蝕內腔，可更換
鋁合金陽極氧化外殼，美觀大方
耐溶劑PC透明蓋
多角度定位鉸鏈設計
HDPE真空吸盤
產品外型尺寸：
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)