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鐵電分析儀如何針對不同材料應變測量？
鐵電分析儀如何針對不同材料應變測量？
Huace FE-3000針對不同材料應變測量設計了塊體與薄膜應變測試兩種測量夾具，以下是兩款夾具的介紹：
1. 高分辨率pm級測量平臺-振動激光干涉測量D33;
2. 可評估piezoMEMS，也可方便實現塊體與薄膜的夾持；
3. 0.01nm分辨率，2MHz帶寬；
4. 可實現在RT~250℃的溫度下進行測量。
激光測振儀+變溫塊體測試盒
1. 電極較大可調行程不小于3mm，分辨率0.01mm；
2. 較大樣品尺寸小于30mm；
3. 樣品盒較大試驗電壓不低于10kV；
4. 較大加熱溫度:RT~250℃；
5. 采用進口品牌溫度控制器；
6. 具有過溫與過流保護功能。
激光測振儀+變溫塊體測試盒
激光測振儀+高溫塊體測試盒
1. 電極較大可調行程不小于3mm，分辨率0.01mm；
2. 較大樣品尺寸小于30mm；
3. 樣品盒較大試驗電壓不低于10kV；
4. 較大加熱溫度:RT~800℃；
5. 采用進口品牌溫度控制器；
6. 具有過溫與過流保護功能。
激光測振儀+高溫塊體測試盒
激光測振儀高低溫測試夾具
1. 適用于器件與塊體材料應變測量；
2. 較大樣品尺寸小于40mm；
3. 樣品盒較大試驗電壓不低于2kV；
4. 較大加熱溫度:-196℃ - 250℃；
5. 采用進口品牌溫度控制器；
6. 具有過溫與過流保護功能。
激光測振儀高低溫測試夾具
薄膜懸臂梁測試夾具
激光測振儀與薄膜壓電測試(E31)相結合，可測量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(E31、D31和E33)。施加在壓電薄膜上的電壓使基板向各個方向彎曲。位移由激光測試振儀進時高速測量。使用薄膜壓電測試套件進行的測量包括(但不限):E31、D31、D33、E33與厚度位移與電壓的關系。
薄膜懸臂梁測試夾具